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產品介紹
日本TORAY東麗用于半導體的氧氣分析儀MS-500
日本TORAY東麗用于半導體的氧氣分析儀MS-500
測量原理/選型/維護基礎
氧化鋯氧氣濃度計測量原理
氧化鋯陶瓷的兩面均加工有電極，有在高溫下一側電極電離氧分子，另一側電極將氧離子還原成氧分子的特性。這種性質稱為離子傳導，離子傳導程度隨著氧化鋯陶瓷兩側氧濃度差的增大而增大。在此期間，電子在兩個電極之間交換，離子傳導的程度（=氧化鋯陶瓷兩側的氧濃度差）可以被提取為兩個電極之間的電動勢的大小。如下圖所示，根據能斯特理論公式可以得到這個電動勢的穩定值，因此東麗氧化鋯傳感器可以提供穩定可靠的氧氣濃度值。
使用氧化鋯氧氣濃度計的一般注意事項
氧化鋯氧氣濃度計可在約 700℃ 的高溫下工作。因此，在以下情況下，可能無法進行測量，并且可能會影響傳感器的壽命。
由于氧氣濃度計內部有電爐，因此不能在安裝氣氛為防爆的區域使用。
如果可燃氣體（如氫氣、甲烷、酒精、一氧化碳等）進入氧氣計內部，會發生燃燒反應，導致測量誤差。
有機二氧化硅（用于密封劑等）會導致傳感器劣化。（這是傳感器劣化的最常見原因之一。
鹵素（尤其是氯）會導致傳感器故障。
如果一氧化碳等熱值較高的物質間歇性地混入傳感器中，則會接收熱歷史并導致傳感器故障。
如果混入大量Nox、Sox等腐蝕性氣體，會導致傳感器故障。
氟利昂氣體在高溫下可能會引起分離反應，導致傳感器劣化。
水滴、灰塵和霧氣可能會損壞傳感器、縮短其使用壽命并導致錯誤。測量含有這些氣體的氣體時，請在將其流入氧氣濃度計之前先將其除去。購買前請咨詢我們有關去除方法。
選型圖
如果您在選擇型號時遇到困難，請參考下表。
| 目的 | 兼容型號 | 解釋 | 其他選項 |
|---|---|---|---|
| 半導體、液晶、 電子元件 | MS-500 | 用于安裝在半導體制造設備等上，最多可測量8點 | |
| LC-450A | 兼容 ppm 級測量，交流電源類型 |
| |
| LC-450D | 支持ppm級測量，DC電源類型 | ||
| LC-860 | 兼容 ppb 級測量，交流電源類型 | ||
| SD/LD-450 | 真空室安裝型（用于設備集成） | 交流電源裝置：DU-450 | |
| 燒成爐/ 氮氣回流焊/ 廢氣 | RF-400 | 具有氧傳感器保護功能的烘烤爐/回流焊專用機 |
|
| LC-750H/PC-111 | 內置抽氣泵，適用于中高濃度污濁氣體 | ||
| 天然氣裝置/ 空氣分離 | LC-750H | 中/高濃度通用型 | |
| LC-750H/PC-110 | 內置抽氣泵，適用于中高濃度清潔氣體 | ||
| LC-750L | 低濃度通用型 | ||
| LC-750L/PC-120 | 內置抽氣泵，適用于低濃度清潔氣體 | ||
| 真空沉積/ 密封爐/ 手套箱 | SD/LD-450 | 分離式傳感器/轉換器型、薄壁安裝轉換器 | 交流電源裝置：DU-450 |
| 食品包裝 | LC-450F | 用于充氣后取樣檢查（取樣探頭） |
|
| LC-750F | 用于充氣后取樣檢查（注射器） | ||
| LF-200 | 用于安裝在氣體灌裝自動包裝機上 |
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