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三維形狀測量機的原理

2025-2-8  閱讀(153)

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許多三維形狀測量機采用白光干涉技術。白光干涉法是一種利用白光干涉儀的測量方法。光學干涉是光從物體表面到某一點的距離存在差異時發生的現象。光學干涉儀利用這一現象,用于測量表面不規則性等。

由于光的干涉,因樣品表面不平整而產生的光程差,呈現出條紋狀圖案。條紋的數量表示樣品表面不平整的高度。實際操作中,使用內置參考鏡(稱為干涉鏡)的物鏡,將白光照射到參考鏡和物鏡上,上下移動物鏡的同時用相機觀察干涉信號。

一些相機還配有高靈敏度 CMOS。 CMOS是一種將通過鏡頭進入的光轉換為電信號的半導體。采用CMOS的固體攝像元件,可以在拍攝形狀的同時拍攝外觀照片,從而可以同時進行表面觀察和測量。分析結果被轉換成3D模型等數據,可以使用CAD進行查看。


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