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真空壓力表是測量低于大氣壓的負壓的壓力測量裝置。
壓力測量儀表有壓力表、復合表、真空表三種,真空表稱為真空壓力表。這些測量儀表中的每一種都有不同的可以測量的壓力范圍:壓力表只能測量正壓,復合表可以測量有限范圍的正壓和負壓,真空表只能測量負壓。
因此,使用真空計測量負壓以外的任何東西時必須小心,因為這可能會導致故障。
真空壓力表的應用
真空壓力表用于半導體制造設備、冶金、有機合成和其他實驗設備的等離子蝕刻空間。其他應用包括離子束設備、蒸發設備和需要表面清潔度的加工設備。
當執行涉及從管道中排出空氣以形成真空然后向管道填充氣體的工作時,請使用真空壓力表測量真空度。一個常見的使用示例是安裝新空調時。
通過僅向空調管道填充冷卻氣體,空調可以無gu障地運行。