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應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,綜合	最大排放量	5.0mL/次
放電速度	0.1～4.0mL/秒	吸風(fēng)速度	0.1～3.0mL/秒
最大排出壓力	0.15MPa	主要成分	聚四氟乙烯
最大轉(zhuǎn)移液粘度	200毫帕·秒

IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵光刻膠分配泵PDS-105R

產(chǎn)品特點(diǎn)：

大幅度的省抗蝕劑
由于驅(qū)動(dòng)源使用的是高扭矩步進(jìn)馬達(dá)，因此即使由于過濾器的堵塞和粘度變化導(dǎo)致排出負(fù)荷增加，

排出量也幾乎不會(huì)減少，維持高的排出量精度

噴出精度：±0.3%（F.S.）
直線性：±0.5%（F.S.）
分辨率：0.01mL
無污染
泵部采用了內(nèi)表面平滑、死區(qū)體積小的管板結(jié)構(gòu)。幾乎沒有抗蝕劑液的滯留部，可以防止粒子的產(chǎn)生
支持多種涂層工藝
由于可以在1個(gè)鏡頭內(nèi)任意改變噴出速度，所以可以對(duì)應(yīng)微量、短時(shí)間涂布等多種抗蝕劑涂布工藝
縮短停機(jī)時(shí)間

廣泛應(yīng)用于化工、石化、環(huán)保、電鍍、印刷電路板、造紙、半導(dǎo)體、食品加工及醫(yī)療、制藥等行業(yè)。

IWAKI易威奇半導(dǎo)體氣動(dòng)泵光刻膠分配泵

微信圖片_20230413112720.jpg

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