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小王子介紹壓力傳感器原理
表壓型壓力傳感器通過檢測膜片變形來測量壓力。檢測方式有半導體計式、應變計式、金屬薄膜式等多種。
膜片表面放置四個計量電阻,當膜片因壓力而變形時,電阻值會發生變化。四個測量電阻組裝成橋式電路,電阻的變化作為電壓輸出。
1.半導體表壓傳感器
半導體表壓傳感器使用半導體本身作為隔膜,并利用壓電效應測量壓力,壓電效應是半導體受到壓力時電阻發生變化的特性。抗壓變化比其他方法大得多,因此可以制造堅固的隔膜,使設備高度耐用。
2.應變式壓力傳感器
應變計壓力傳感器通過將應變計連接到隔膜背面來測量應變計電阻的變化。應變片是利用金屬變形時電阻發生變化的特性來測量應變,并通過應變與壓力匹配來輸出壓力的裝置。
3.金屬薄膜壓力傳感器
金屬薄膜壓力傳感器通過在膜片上形成金屬薄膜并測量因壓力而變形的金屬薄膜的電阻變化來測量壓力。其特點是比應變片式靈敏度更高,甚至可以在高溫下使用。