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池田屋實業(深圳)有限公司
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產品介紹
池田屋??！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100N
池田屋??！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100N
EV-X型
結構緊湊、節能，單個裝置可覆蓋多種工藝
適用于中等負荷工藝
高溫控制
節能
采用耐腐蝕材料作為標準
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同（50Hz/60Hz）
無油
符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面積小
該款中負荷工序用干式真空泵搭載了荏原d特的節能技術，并采用了針對自動化工廠制造而優化的模塊化設計，實現了進一步的小型化和節能化。
寬范圍的溫度控制擴大了適用工藝。
寬范圍的溫度控制擴大了適用工藝。
由于同一型號可覆蓋多個工藝，因此可優化備用設備庫存，減少維護和培訓工作，并可靈活適應未來的工藝擴展。
此外，通過對各工序進行最佳溫度控制，可提高工序耐性，并可延長零件的更換周期，有助于降低TCoO。
支持的應用示例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等。
支持的應用示例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等。
產品規格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達底壓時消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
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