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PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）
SPTVI傳輸閥適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD，通過單軸氣動執行器對閘門進行I形運動的技術。在I形運動中，閘門垂直移動到關閉位置，在最后的運動中，它被水平推到閘門座上，密封件以與連接的氣壓相關的固定力接觸閘門座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產生，還最大限度地減少了密封磨損。
為了最大限度地減少顆粒的產生和活化，閘門配備了硫化密封O型圈。這是一種比標準O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標準O型環密封也是可選的。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。
如果發生電源故障，SPTVI可以機械鎖定在關閉位置。
SPTVI系列已經安裝在各種半導體、太陽能和工業生產過程中的數百個要求苛刻的應用中，證明了其出色的可靠性。SPTVI系列設計堅固，維護簡單，在各個方面都令人信服。
SPTVI傳輸閥始終根據客戶的規格量身定制。然而，預定義了四種基本設計類型：兩種具有不同后側開口的閥門類型和兩種具有內腔或外腔閥座的插入式閥門類型。
閥體材料選項包括鋁、硬質陽極氧化、鍍鎳或不銹鋼。閘門和閥蓋密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可應要求提供。
特征：
l半標準應用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）
l低振動。獲得認證的I-motion連桿
l壽命長
優點：
l焊接波紋管執行器密封
l閥蓋法蘭螺栓設計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落
應用:
l半導體加工
l氣動鎖定（可選）
l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積
l太陽能電池板的制造
lLCD/平板工藝
PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）
技術參數
尺寸 | 46 x 236 mm, 50 x 336 mm | |
執行器 | 氣動 | 雙作用位置指示器 |
閥體材質 | 鋁或不銹鋼 | |
進料 | 波紋管 | |
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
閥座 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
壓力范圍 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs) | |
壓差 | On the Gate | ≤ 1.2bar |
At opening | < 30mbar | |
循環至first使用 | ≥200萬次 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 120 °C |
閥門 | ≤ 120 °C | |
材質 | 閥體、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
軸 | AlSI 304 (1.4301) | |
波紋管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 閥帽 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 |
閥門 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 | |
安裝位置 | 執行器上方或下方 | |
電磁閥 | 24 VDC，2.5 W（其他應要求） | |
位置指示器：觸點額定 | 電壓 | ≤50 VDC |
電流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
連接器 | 9針微型D口 | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 6 mm |
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