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PRECESS普瑞賽思高真空閘閥（V21系列3位）
技術特點
lVATLOCK 技術：配備 VATLOCK 技術，該技術專門為提供可靠的密封而開發，在閘門密封處沒有任何摩擦。同時，VATLOCK 機構還可以防止閥門故障，這得益于關閉端位置的機械鎖定。
l多種密封選擇：閘門密封可以是 O 型圈密封，也可以是 DN 200mm 以下的硫化密封。硫化密封在真空性能和可靠性方面具有很好的性能，是推薦的解決方案。
產品優勢
SPGV 系列及其前身 SPGV 已經在各種工藝條件下安裝在數百種要求苛刻的應用中，證明了其出色的可靠性。它們已成為 DN 63 - 320mm 尺寸的任何高壓隔離要求的標準。該系列憑借其堅固的設計，滿足了可靠運行的高壓閘閥的所有要求，其設計可在大量工藝循環中可靠運行，為通用高壓閘閥設定了標準。
驅動與控制
l驅動方式：有手動、氣動和 3 位氣動版本。
l控制方式：該閥可以由電磁閥控制，可以 “在船上" 控制，也可以根據需要在遠處控制。電磁閥的標準電壓為 24V DC，但可根據要求提供其他電壓。閥門位置由一個雙位指示器指示，兩個開關分別用于 “打開" 和 “關閉" 位置，帶轉換觸點。
特點
l良好的波紋管密封閥
l無沖擊，振動最小
l不銹鋼材質閥體，耐腐蝕
l機械鎖處于關閉位置
lDN63-320，帶FKM O型圈閘門密封
l氣動、手動和3位執行器
l提供ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS法蘭
選項
l定制法蘭
l可定制開口尺寸
l各種O型圈【Kalrez、Chemraz等】
應用
l研究、半導體、太陽能、一般真空加工
lPVD、CVD、濺射沉積
PRECESS普瑞賽思高真空閘閥（V21系列3位）
技術參數
執行器 | 氣動，手動，3位 | |
饋通 | 波紋管 | |
標準法蘭 | ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS | |
泄漏率 | 閥體 | < 5 × 10-10 mbar l/s |
閥座 | < 5 × 10-10 mbar l/s | |
壓力范圍 | DN63-200 | 1 × 10-10 mbar to 1.6 bar |
DN250-320 | 1 × 10-10 mbar to 1.2 bar | |
壓差on the gate in opening direction | DN63-200 | ≤ 1.6bar |
DN250-320 | ≤ 1.2bar | |
壓差on the gate in closing direction | ≤ 1.2bar | |
壓差at the opening | ≤ 30mbar | |
循環至first使用 | ≥50,000 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 200 °C |
閥門 | ≤ 200 °C | |
執行器 | ≤ 200 °C | |
電磁閥 | ≤ 50 °C | |
位置指示器 | ≤ 70 °C | |
材質 | 閥體 | AlSI 304 (1.4301) |
閥門 | AlSI 304 (1.4301) | |
閥帽 | AlSI 304 (1.4301) | |
軸 | AlSI 304 (1.4301) | |
結構 | AlSI 316L (1.4404,1.4435) | |
波紋管 | AlSI 316L (1.4404,1.4435) | |
波紋管末段 | AlSI 304 (1.4301) | |
表面處理 | 閥體 | 電拋光 |
閥門 | Bare | |
閥帽 | 電拋光 | |
軸 | Bare | |
執行器 | 白色硬質陽極氧化 | |
密封 | 閥帽，閥門 | FKM（Viton®） |
安裝位置 | 任意 | |
電磁閥 | 24 VDC（其他應要求） | |
位置指示器 | 類型 | 微型開關 |
電壓 | 24 VDC | |
電流 | 5-40 mA | |
連接器 | D-Sub 7P Male | |
空氣壓力 | 4 - 7 bar | |
氣源故障 | 鎖定在關閉位置 | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 4 mm | |
選型 | FFKM密封材料可用 | |
硫化密封材料 | ||
不同的表面處理 | ||
其他電磁閥電壓（標準24V DC） | ||
提供6mm空氣接頭（標準4mm） | ||
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