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INFICON英福康中低真空鎳絲皮拉尼真空規(guī)PSG500、PSG500-S、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S采用市場上先進(jìn)的數(shù)字皮拉尼技術(shù)。測量范圍：5×10-4 … 1000mbar，傳感器燈絲有：鎢絲、鎳絲、陶瓷燈絲，設(shè)計緊湊，適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)和大多數(shù)真空測量環(huán)境，選擇鎳絲、陶瓷燈絲可適用于腐蝕性環(huán)境。

INFICON英福康中低真空鎳絲皮拉尼真空規(guī)

技術(shù)特點(diǎn)：

l設(shè)計緊湊，節(jié)省空間，堅固耐用

l測量性能不受安裝方向的影響

l0-10V標(biāo)準(zhǔn)信號輸出

l法蘭可選250°C可烘烤型

l鎳絲傳感器，適合腐蝕性應(yīng)用

l陶瓷傳感器，適合很強(qiáng)腐蝕性應(yīng)用

l可選設(shè)定點(diǎn)

l符合RoHS

典型應(yīng)用：

l作為電離規(guī)的前端測量，控制開啟高真空電離規(guī)

l前級真空壓力測量

l高真空和低真空范圍內(nèi)的真空測量和控制

INFICON英福康中低真空鎳絲皮拉尼真空規(guī)

技術(shù)參數(shù)

型號		PSG500		PSG500-S	PSG502-S	PSG510-S	PSG512-S
燈絲		鎢絲		鎢絲	鎳絲	鎢絲	鎳絲
饋入裝置		玻璃		玻璃	玻璃	陶瓷	陶瓷
測量原理		根據(jù)皮拉尼的熱導(dǎo)率
測量范圍(空氣、O2、CO、N2)	毫巴	5 × 10-4至1000
精度(N2)		±15%
1 × 10-3… 100毫巴	讀數(shù)%	±50%
5 × 10-4… 1 × 10-3毫巴	讀數(shù)%	±50%
100 … 1000毫巴	讀數(shù)%	2%
可重復(fù)性(空氣) 1 × 10-3… 100毫巴	讀數(shù)%
輸出信號(測量信號)
電壓范圍	V	0 … +10.3
測量范圍	V	V +1.9 … +10.0
電壓與壓力		對數(shù)1.286 V/decade
錯誤信號	V	0 … +0.5 (燈絲斷裂)
輸出阻抗	Ω	2 × 4.7
最小加載阻抗	kΩ	10，耐短路
響應(yīng)時間	毫秒	80
真空計標(biāo)識	kΩ	27.0，參考電源通用
調(diào)節(jié)		一個用于ATM和HV調(diào)節(jié)的觸摸開關(guān)
設(shè)定值		無	2
設(shè)定范圍	毫巴	2 × 10-3 … 500
滯后	讀數(shù)%	比下限高出10%
繼電器觸點(diǎn)	伏(直流)/安(直流)	30 / 0.5浮動
開關(guān)時間	毫秒	< 20
電源電壓
真空計處	伏(直流)	+14 … +30
波紋電壓	Vpp	≤1
電流消耗	mA	<500 (最大起始電流)
功耗	W	≤1
電氣連接		FCC 68 / RJ45電器連接器，8極，公頭
傳感器電纜		8極加屏蔽
電纜長度	米	≤100 (8 × 0.14平方毫米)
暴露于真空的材料		玻璃、Ni、NiFe DIN 1.4301/1.4305/1.4435				Al2O3、Ni DIN 1.3981/1.4305/1.4435
燈絲材料		W		W	Ni	W	Ni
內(nèi)部容積
DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、7/16-20UNF	立方厘米(立方英寸)	1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF和DN 16 CF-R長管	立方厘米(立方英寸)	10 (0.61)
1/8英寸NPT、4 VCR、8 VCR、1/2英寸管	立方厘米(立方英寸)	2 (0.122)
容許壓力	巴(絕對)	10，限于惰性氣體
容許溫度
操作	℃	+5 … +60
真空連接¹⁾	℃	80 / 250 ²⁾
存儲	℃	–20 … +65
安裝方向		任意
防護(hù)等級		IP40
重量
DN 16 ISO-KF、7/16-20 UNF	克	80
DN 16 CF-R、4 VCR	克	100
1/8英寸NPT、1/2英寸管	克	70
8 VCR、DN 16 ISO-KF長管	克	130
DN 16 CF-R長管	克	140