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性能參數
l 域勢很高興為您提供本公司的真空閥。這些閥門是長期精心研發的成果，旨在確保產品質量、可靠性和價值。我們竭盡全力提供適合不同客戶要求的閥門系列。我們的閥門能在各種應用場合中可靠運行，包括存在化學和微粒污染的半導體生產系統。
l 使用壽命長。
l 不銹鋼焊接波紋管密封。
l Viton，密封圈可間歇性烘烤至200℃。
l 結構緊湊。
l 通過電磁閥進行簡單控制。
l 維護簡單快捷。
l 手動或電氣動操作或安全故障操作（氣壓損失時關閉）。
規格
l 閥體 SUS304（可根據要求提供其他材質）
l 提升閥 SUS304（可根據要求提供其他材質）
l 波紋管 焊接AM-350（選配）
l 電磁閥 選配
l 位置指示器 選配
l 密封 Viton O型圈
l 泄漏率 2x10-9mbar.1/s
l 壓力范圍 1x10-9mbar至1000mbar Viton密封圈
l 開啟前的最大壓力△ 1.2Bar
l 工作氣壓 4-6.5kg/cm2
l 維修前的循環次數 波紋管型：16至50-50,000；63至150-250,000；200至250-80,000
非波紋管型：16至50-200,000；63至250-10,000（取決于O型圈的狀況）
（非波紋管型建議垂直安裝）
l 耐溫限制：
耐溫 | 閥體 | O型圈閥蓋密封 | 開≤100℃ |
關≤100℃ | |||
金屬密封圈密封 | 開≤200℃ | ||
關≤150℃ | |||
手動和氣動驅動器 | ≤80℃ | ||
l 可根據要求提供更大或特殊尺寸。
用途
l KF、ISO和ANSI端口型號專為真空壓力接近10-9torr且烘烤溫度不超過150℃的高真空應用而設計。標準的國際KF/ISO配置和ANSI配置用于需要易于安裝和拆卸的法蘭式密封的區域。
l CF端口型號專為真空壓力接近10-10torr且烘烤溫度不超過200℃的超真空應用而設計。在使用OFHC無氧銅墊片而非傳統的Viton O型圈時，這些閥門具有更高的烘烤溫度、更低的真空壓力（釋氣最少），以及更低的真空漏率。它們還常用于需要更持久密封的應用。
單動式帶波紋管簧片傳感器CF法蘭角閥
氣動執行器，帶波紋管，帶簧片傳感器
單動式，氣動開啟，彈簧關閉
CF法蘭
單動式帶波紋管簧片傳感器CF法蘭角閥
性能參數
l 不銹鋼閥體表面處理：低于4英寸拋光
l 端口外徑為3/4-2英寸（19.05-50.8mm）
l 工作氣壓：4-6.5bar
l 傳感器規格：電壓：DC/AC4-240V，電流：5-40mA。
l 選配：空氣電磁閥（DC24V，AC24V，AC110V，AC220V）
l Viton密封圈：真空度10-9mbar
規格：美規
型號 | A’’(mm) | B’’(mm) | C’’(mm) | O.D.’’(mm) | 料號 |
AVBS-CR16-P | 2.50’’(63.5) | 7.13’’(181.1) | 2.24’’(56.8) | 0.75’’(19.05) | 300109130216 |
AVBS-CR35-P | 2.46’’(62.5) | 8.33’’(211.7) | 2.98’’(75.8) | 1.50’’(38.1) | 300113130216 |
注：除非另有說明，否則尺寸單位為英寸（毫米）。
規格：歐規 可根據要求提供特殊尺寸
型號 | A | B | C | O.D. | 料號 |
AVBS-CR16-P-E | 38 | 155.6 | 56.8 | 19.05 | 310109130216 |
AVBS-CR35-P-E | 63 | 212 | 75.8 | 38.1 | 310113130216 |
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