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Alicat艾里卡特MCE系列真空質(zhì)量流量控制器
  • Alicat艾里卡特MCE系列真空質(zhì)量流量控制器
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貨物所在地:浙江杭州市

地: 美國

更新時間:2024-07-02 21:22:57

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Alicat艾里卡特MCE系列真空質(zhì)量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件,并與 SEMI 標準 MFC 端到端匹配,可輕松直接升級到真空沉積裝置。控制 98 多種氣體的質(zhì)量流量或壓力。

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Alicat艾里卡特MCE系列真空質(zhì)量流量控制器特點:

l 插入式兼容性。外形包括焊接 1/4 英寸 VCR 配件,并與 SEMI 標準 MFC 的 124 毫米端到端長度相匹配。

l 多功能且準確。對 98 多種氣體和 20 種自定義混合物進行實時控制,精度可達 NIST 可追溯的讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%。

l 輕松集成。定制過程端口和電氣連接器,以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus(RTU 和 TCP/IP)或串行通信,以便輕松集成到您的工業(yè)過程中。



設備規(guī)格和定制選項:

快速規(guī)格:

MCE 系列性能(大多數(shù)產(chǎn)品)


l 可用滿量程范圍:0.5 SCCM 至 20 SLPM

l 穩(wěn)態(tài)控制范圍:滿量程的0.01% – 100%

l 標準精度校準,NIST 可追溯:讀數(shù)的 ± 0.6% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準

l 可選高精度校準,NIST 可追溯:讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準

l 重復性:±(讀數(shù)的0.1% + 滿量程的0.02%)

l 典型控制響應時間:快至 30 ms

l 預熱時間:<1秒



MCE 系列操作條件

l 兼容氣體:98 種以上預加載的可選氣體校準

l 工作溫度:–10°C 至 +60°C

l 滿量程工作壓力:160 PSIA

l 最大壓差:75 PSID

l 耐壓:175 PSIA

l 用戶可選擇的參考條件(默認):25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)



Alicat艾里卡特MCE系列真空質(zhì)量流量控制器設備范圍和完整規(guī)格:

器件定制范圍為 0.5 SCCM 滿量程 至20 SLPM 滿量程,可控范圍為滿量程的 0.01% 至 100%。



設備特點:

每臺設備均附帶


l 多變量過程測量:同時測量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

l 用戶可更改測量單位:從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測量單位。

l 氣體選擇性:從我們的氣體列表中預裝的 98 多種 NIST 可追蹤氣體校準中選擇您的工藝氣體 。

l Gas Select Composer™:使用我們的Gas Select Composer ™固件定義最多 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物 。

l 帶集成觸摸板的單色背光 LCD: 使用背光顯示屏輕松讀取測量值,并通過用戶友好的集成觸摸板控制配置。

l 用戶可調(diào)節(jié)的設定點斜坡和限制:可配置的斜坡速率允許根據(jù)需要控制過程變量的快或慢,并且可配置的設定點限制可保護過程免受無意的設定點變化的影響。

l 用戶可調(diào)節(jié)標準溫度和壓力 (STP) 條件:快速更改參考條件,無需重新校準。

l 閥門關閉超控和閥門打開超控:利用警報快速排氣系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。



購買時要求|自由的

l 可選的集成累加器和批量控制:每 1 毫秒累加一次質(zhì)量流量,以便精確跟蹤一段時間內(nèi)的總流量,并使用批量控制來分配精確的體積。



購買時要求|附加費用

l 可選的集成電位計控制:使用集成電位計,只需旋轉(zhuǎn)旋鈕即可調(diào)整設定值。



設備定制選項

構建和性能選項



l 通信協(xié)議:模擬、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET

l 顯示屏:單色或彩色背光;集成或面板安裝

l 過程連接:壓縮、VCR 或 VCO 接頭

l 接液材質(zhì):302、303、304、316L、430FR不銹鋼;FKM、氧化鋁陶瓷、黃銅、玻璃、金、熱固化環(huán)氧樹脂、熱固化硅橡膠、聚酰胺、硅

l 校準:高精度;自定義校準點



閥門選項和 PID 調(diào)節(jié)

您的質(zhì)量流量控制器可以使用以下閥門選項之一進行定制,以確保在您預期的過程條件下獲得更佳性能。



l MCE:內(nèi)置小型比例控制閥



定制 PID 閥門調(diào)節(jié)可確保您的特定過程條件發(fā)揮最大性能。



可選配件

配件|分開售賣


l 過程端口配件和過濾器

l 電源

l 通訊電纜及轉(zhuǎn)換電纜

l BB3 和 BB9 多點接線盒






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