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更新時(shí)間：2025-04-14 16:20:10瀏覽次數(shù)：184評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
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PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）
低顆粒活化度和顆粒排放以及快速、可靠的打開和關(guān)閉循環(huán)方面的顆粒性能是半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中大氣傳輸門的關(guān)鍵性能指標(biāo)。
新的V77 HV傳送門插件與L-Motion結(jié)合了優(yōu)秀的顆粒性能和優(yōu)化的可控性，可實(shí)現(xiàn)可調(diào)、快速的循環(huán)時(shí)間。
通過優(yōu)化各種設(shè)計(jì)特征，如板上用于均勻密封壓縮的扭桿、完好封裝的致動(dòng)器、無(wú)潤(rùn)滑環(huán)境和具有可調(diào)速度曲線的真實(shí)L-Motion，以避免任何閉合沖擊，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的顆粒性能。
V77具有可調(diào)速度曲線的優(yōu)秀真實(shí)L-Motion是通過PRECESS的特殊L-Motion技術(shù)實(shí)現(xiàn)的，該技術(shù)有兩個(gè)獨(dú)立的執(zhí)行器，用于垂直和水平移動(dòng)。結(jié)果：一種高度可靠的執(zhí)行器概念，具有快速、穩(wěn)定、可調(diào)節(jié)和無(wú)沖擊的運(yùn)動(dòng)。好處：更長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間和更好的可控性。
PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）
特征：
l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（Semi E21-94 Semi E24-92 Semi-E21.1-1296）
l閥蓋法蘭真空側(cè)的防塵密封，幾乎消除了顆粒物進(jìn)入波紋管
l無(wú)顆粒和振動(dòng)
優(yōu)點(diǎn)：
l實(shí)現(xiàn)精確的L動(dòng)作
l易于維護(hù)
應(yīng)用：
l半導(dǎo)體加工
l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積
l太陽(yáng)能電池板制造
lLCD/平板工藝
l所有其他集群和內(nèi)聯(lián)真空系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)
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