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Cressington 108Auto 全自動離子濺射儀
  • Cressington 108Auto 全自動離子濺射儀
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更新時間:2025-03-02 21:00:08

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Cressington 108Auto 全自動離子濺射儀是用于掃描電鏡的高質量的鍍膜儀系統●自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導電噴鍍效果。●通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。●操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。●在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果。●可配備 MTM-10 高分辨膜厚監控儀(選件)(分辨率優于 0.1nm,-99.9nm 到+999.9nm)●數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。●可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd,靶材更換快速方便。

技術規格:

樣品倉尺寸:   120 x 120mm(高)   (4.75 x 4.75"),高強度不銹鋼結構

樣品臺:可放置12 個標準 SEM 樣品座,高度可在   60mm 內調節

濺鍍優點:基于微處理器反饋控制,遠程電流/電壓感應;提供真空安全聯鎖裝置,最180A,配有過流保護

濺射控制:微處理器控制,安全互鎖,可調,電流40mA,程序化數字控制

濺射頭:低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環繞暗區護罩

模擬計量:真空   Atm - 0.01mb   電流: 0 - 200A

厚度監測器:   MTM-10 高精度厚度監測器(選配)

控制方式:自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停"控制的數字定時器0300s),自動放氣

電源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括鍍碳機和真空系統)

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