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計(jì)測熱銷荏原高負(fù)載工藝用干式泵EV-M202N
  • 計(jì)測熱銷荏原高負(fù)載工藝用干式泵EV-M202N
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貨物所在地：廣東深圳市

所在地： 日本

更新時間：2025-02-06 20:20:00

瀏覽次數(shù)：29

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EBARA荏原高負(fù)載工藝用干式泵EV-M202N

產(chǎn)品介紹
EBARA 高溫技術(shù)支持在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的高負(fù)荷工藝。由于其高節(jié)能性能，能夠支持高負(fù)載流程，同時節(jié)省能源。另有排量110,000L/min的大排量型號，標(biāo)配耐腐蝕材料。憑借針對工藝條件量身定制的豐富產(chǎn)品陣容，我們可以應(yīng)對各種高負(fù)載工藝。

EBARA荏原高負(fù)載工藝用干式泵EV-M202N

EBARA荏原高負(fù)載工藝用干式泵EV-M202N


產(chǎn)品介紹

EBARA 高溫技術(shù)支持在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的高負(fù)荷工藝。由于其高節(jié)能性能，能夠支持高負(fù)載流程，同時節(jié)省能源。另有排量110,000L/min的大排量型號，標(biāo)配耐腐蝕材料。憑借針對工藝條件量身定制的豐富產(chǎn)品陣容，我們可以應(yīng)對各種高負(fù)載工藝。

EV-M型

干式真空泵非常適合節(jié)能和高負(fù)載工藝

兼容高負(fù)載流程
兼容高溫控制
節(jié)能
耐腐食性材料標(biāo)準(zhǔn)采用
耐腐蝕性改進(jìn)選項(xiàng)
不同頻率 (50/60Hz) 下具有相同的性能
無油
提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 兼容
模型單元電動車M20NEV-M102NEV-M202NEV-M302NEV-M502NEV-M505SFEV-M802NEV-M805SFEV-M1205SF
抽速升/分鐘1,80010,00020,00030,0005萬5萬8萬8萬110,000
極限壓力出色地50.50.50.50.50.50.50.50.5
連接直徑進(jìn)氣口
西北40感光度100感光度100感光度100ISO160ISO160ISO200ISO200ISO200
排氣口
西北40西北40西北40西北40西北40西北40西北40西北40西北40
極限壓力下的近似功率值千瓦1.21.81.92.32.13.92.84.65.3
冷卻水流量升/分鐘3~83~83.5~84~85~85~85~85~85~8
溫度℃最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
氮?dú)?/span>流量帕•立方米/秒26~3126~3126~3126~3128~3322828~3322834~35
電源相位/電壓/頻率200V型號
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
400V型號
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		-3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
電源容量千伏安3.35.466.87.115.78.319.414.2
概略質(zhì)量公斤170320360400500580





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