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EBARA荏原EV-S200真空泵EV-S200P/N
  • EBARA荏原EV-S200真空泵EV-S200P/N
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貨物所在地:廣東深圳市

地: 日本

更新時間:2025-02-06 20:17:52

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緊湊型EBARA荏原EV-S200真空泵EV-S200P/N

產品介紹
轉子設計和空轉功能實現了高水平的能效和緊湊性。有助于降低運行成本。此外,還提供耐腐蝕材料選項,以適應各種應用,從裝載鎖和 SEM 等輕型應用到腐蝕工藝。

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產品介紹

轉子設計和空轉功能實現了的能效和緊湊性。有助于降低運行成本。此外,還提供耐腐蝕材料選項,以適應各種應用,從裝載鎖和 SEM 等輕型應用到腐蝕工藝。

荏原株式會社(以下簡稱“荏原")精機電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計出貨量達到15萬臺。這是自1986年第一臺機器發貨以來,時隔32年取得的成就。

直到 20 世紀 80 年代,油旋轉泵一直是半導體制造工藝中使用的主流真空泵,但隨著對更清潔的真空環境的需求隨著集成度的提高而增加,我們應用了我們的核心競爭力——旋轉機械技術,我們已經將干式真空商業化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產生潔凈的真空,而且采用非接觸式密封結構,減少了維護頻率。利用這些功能,應用目前已從半導體和顯示器制造擴展到太陽能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設備等廣泛的行業。

根據中期管理計劃(E-Plan2019)的措施,荏原將在2019年之前啟動生產效率大幅提高的干式真空泵全自動化工廠,深化與海外生產基地的合作,并繼續響應半導體市場的穩定需求和各領域客戶的要求。

便攜式EV-PA型等小型節能風冷式、水冷式干式真空泵、實現更高流量的廢氣處理裝置、實現半導體超微細制造的CMP裝置、Fan-out等我們將展示對封裝技術至關重要的電鍍設備,以及消除導致良率下降的晶圓邊緣缺陷的斜角拋光設備。

風冷EV-A10和EV-SA型號以及水冷ESA型號具有多級根部結構,可以有效排出氫氣和氦氣等輕質氣體。






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