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SYSTEM八光產業 氮氣排氣管堵塞HOT-N2
  • SYSTEM八光產業 氮氣排氣管堵塞HOT-N2
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貨物所在地:廣東深圳市

地: 日本

更新時間:2025-02-06 17:50:33

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八光產業 并改善熱氮氣排氣管堵塞HOT-N2
特征】
防止粉末和副產品的形成和積累:
抑制管道中氧化物的形成。
由于減少了維護,提高了設備??生產率:
預計會降低維護成本。
能夠進行大容量氮氣吹掃:
防止爆炸危險

八光產業 并改善熱氮氣排氣管堵塞HOT-N2

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關于 HOT-N2 系統

HOT-N2 系統
HOT-N2 系統用于產生粉末和氣體副產品的半導體制造工藝,并改善排氣管堵塞。

【特征】
  • 防止粉末和副產品的形成和積累:
    抑制管道中氧化物的形成。

  • 由于減少了維護,提高了設備生產率:
    預計會降低維護成本。

  • 能夠進行大容量氮氣吹掃:
    防止爆炸危險。


八光產業 并改善熱氮氣排氣管堵塞HOT-N2

使用案例和功能

點擊圖片放大
連接到干泵的輸出側和洗滌器的入口側(排除裝置)。

【功能】
  • 稀釋:
    稀釋氣體。

  • 轉移:
    通過將熱氮氣注入管道中并使副產物高速流動,轉移副產物并防止副產物在管道內積聚。

  • 熱能活化:

    通過注入熱氮氣加熱副產品。

HOT N2 系統主要適用工藝

HOT N2 SYSTEM 使用例
  • 蝕刻

  • 化學氣相沉積

  • 物理氣相沉積  

  • 濃散等


*在某些低溫工藝中沒有必要使用HOT N2 SYSTEM。

使用 HOT N2 的效果

八光產業 并改善熱氮氣排氣管堵塞HOT-N2HOT N2 未使用 
HOT N2 使用

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