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| 泵軸位置 | 臥式 | 抽氣量 | 見參數 |
|---|---|---|---|
| 輸送介質 | 其他 | 外形尺寸 | 見參數 |
| 葉輪數目 | 單級 | 應用領域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
| 最大工作壓強 | 見參數 |
EBARA荏原EV-S型節省空間用干式真空泵
EBARA荏原EV-S型節省空間用干式真空泵
轉子設計和空轉功能實現了的能效和緊湊性。有助于降低運行成本。此外，還提供耐腐蝕材料選項，以適應各種應用，從裝載鎖和 SEM 等輕型應用到腐蝕工藝。
荏原株式會社（以下簡稱“荏原"）精機電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計出貨量達到15萬臺。這是自1986年第一臺機器發貨以來，時隔32年取得的成就。
直到 20 世紀 80 年代，油旋轉泵一直是半導體制造工藝中使用的主流真空泵，但隨著對更清潔的真空環境的需求隨著集成度的提高而增加，我們應用了我們的核心競爭力——旋轉機械技術，我們已經將干式真空商業化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產生潔凈的真空，而且采用非接觸式密封結構，減少了維護頻率。利用這些功能，應用目前已從半導體和顯示器制造擴展到太陽能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設備等廣泛的行業。
根據中期管理計劃（E-Plan2019）的措施，荏原將在2019年之前啟動生產效率大幅提高的干式真空泵全自動化工廠，深化與海外生產基地的合作，并繼續響應半導體市場的穩定需求和各領域客戶的要求。
便攜式EV-PA型等小型節能風冷式、水冷式干式真空泵、實現更高流量的廢氣處理裝置、實現半導體超微細制造的CMP裝置、Fan-out等我們將展示對封裝技術至關重要的電鍍設備，以及消除導致良率下降的晶圓邊緣缺陷的斜角拋光設備。
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