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緊湊型EBARA荏原EV-S200真空泵EV-S200P/N
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| 泵軸位置 | 臥式 | 抽氣量 | 見參數 |
|---|---|---|---|
| 輸送介質 | 其他 | 外形尺寸 | 見參數 |
| 葉輪數目 | 單級 | 應用領域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
| 最大工作壓強 | 見參數 |
EBARA荏原高速排氣用ESA25-D干式真空泵
EBARA荏原高速排氣用ESA25-D干式真空泵
ESA型有適合排出氫氣等輕質氣體的排量1,400L/min～10,000L/min的型號，以及適合排氣的20,000L/min～80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質氣體排氣，設計緊湊，并提供耐腐蝕材料選項，非常適合 MO-CVD 等高流量輕質氣體排氣應用。大型機型在大排量的情況下仍能實現安靜的噪音和低振動，并且還可以選擇有機溶劑排氣，使其成為液晶濺射設備、真空干燥工藝、大型負載鎖等的理想選擇。
荏原株式會社（以下簡稱“荏原"）精機電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計出貨量達到15萬臺。這是自1986年第一臺機器發貨以來，時隔32年取得的成就。
直到 20 世紀 80 年代，油旋轉泵一直是半導體制造工藝中使用的主流真空泵，但隨著對更清潔的真空環境的需求隨著集成度的提高而增加，我們應用了我們的核心競爭力——旋轉機械技術，我們已經將干式真空商業化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產生潔凈的真空，而且采用非接觸式密封結構，減少了維護頻率。利用這些功能，應用目前已從半導體和顯示器制造擴展到太陽能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設備等廣泛的行業。
根據中期管理計劃（E-Plan2019）的措施，荏原將在2019年之前啟動生產效率大幅提高的干式真空泵全自動化工廠，深化與海外生產基地的合作，并繼續響應半導體市場的穩定需求和各領域客戶的要求。
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