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緊湊型EBARA荏原EV-S200真空泵EV-S200P/N
EBARA荏原EV-S100緊湊型真空泵EV-S100P/N
EV-S20熱銷EBARA荏原小巧 真空泵EV-S20P/N
| 泵軸位置 | 臥式 | 抽氣量 | 見參數 |
|---|---|---|---|
| 輸送介質 | 其他 | 外形尺寸 | 見參數 |
| 葉輪數目 | 單級 | 應用領域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
| 最大工作壓強 | 見參數 |
計測*EBARA荏原高速排氣用干式真空泵
計測*EBARA荏原高速排氣用干式真空泵
ESA型有適合排出氫氣等輕質氣體的排量1,400L/min～10,000L/min的型號，以及適合排氣的20,000L/min～80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質氣體排氣，設計緊湊，并提供耐腐蝕材料選項，非常適合 MO-CVD 等高流量輕質氣體排氣應用。大型機型在大排量的情況下仍能實現安靜的噪音和低振動，并且還可以選擇有機溶劑排氣，使其成為液晶濺射設備、真空干燥工藝、大型負載鎖等的理想選擇。
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