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| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 油泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 多級 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發科 螺桿型 干式真空泵
日本ULVAC愛發科 螺桿型 干式真空泵
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過螺桿形狀和節電技術的融合，使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。
■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，
這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）
■C規格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發科技術。
該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本（*3)
■希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。
通過組合使用排氣速度可以達到120～1200m3/h。
（*1）LS120A-C時
（*2）C規格時
（*3）L規格還可以使用稀釋氣體。
LS系列有兩種規格。
首先是面向清潔工藝的規格。
為內置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。
其次是面向輕工藝的規格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業用途等。
| 型式 | （C：C式樣） （L：L式樣） | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | ||
| 最大排氣速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
| 到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
| 電源電壓 | 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
| 消費電力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
| 冷卻水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
| Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 |
| 最大水蒸氣 處理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
| 噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
| 吸氣口 | KF50(水平)／ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
| 排氣口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
| 質量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
| 適用規格 | CE、cTUVus | ||||||||
| 標準附屬品 | 電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器 | ||||||||
| 本體選配件 | 電源電壓：200V級或400V級、密封部材質：全氟彈性體(僅用于L型) | ||||||||
| 外部選配件 | MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge | ||||||||
*1：到達壓力時
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應無漏
ULVAC 廠商介紹：
1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術為工業和科學的發展做出貢獻"。
自成立以來，ULVAC一直珍視這種創業精神，并與廣泛行業的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業設備，ULVAC接受了利用技術進行創新并努力創造新價值的挑戰。
追求真空技術創造新價值
ULVAC集團是一家企業集團，為廣泛的行業全面提供各種真空技術，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內，零部件業務部門是一組負責開發、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。
通過與客戶的溝通，共創繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業務領域和不斷發展的技術。
盡管ULVAC現在的組織比成立時規模更大，但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續利用集團的集體力量和創新精神，以速度感響應各領域的需求，為工業和科學的發展做出貢獻。
零部件事業部
ULVAC株式會社 零部件事業部
愛發科機工株式會社
愛發科低溫有限公司
愛發科（寧波）有限公司
韓國愛發科低溫公司
愛發科低溫技術（寧波）有限公司
愛發科銷售有限公司
愛發科科技有限公司
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