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輕型緊湊型
高速檢查
高靈敏度
用于系統集成
空氣泄漏測試無法檢測到的微小泄漏可以通過使用氦氣進行檢測。
使用氦氣的泄漏測試方法
真空方法 如何對
工件內部進行真空
真空噴涂法
真空罩法
加壓法 對
工件中的氦氣加壓的方法
嗅探器
真空鐘罩法
加壓集成方式
轟炸方式（工件沒有加壓口時）
選擇測試方法的示例
每種測試方法的特點
此外，還提供氦氣混合器和氦氣回收裝置，以降低運行成本，因此請單獨與我們聯系。
我們將根據初始成本和運行成本提出建議。
真空法
| 測試方法 | 真空噴涂法 | 真空罩法 |
|---|---|---|
| 檢漏精度 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 |
| 整體測量 | × | ○ |
| 泄漏位置 | ○ | × |
| 自動化 | △ | ○ |
| 初期成本 | ○ | △ |
| 運行成本 | △ | △ |
| 維護成本 | △ | △ |
| 受影響的產品 |  LDS3000 | |
加壓方式
| 測試 方法 | 真空 Bellger 法 | 轟炸方式 | 嗅探器 | 加壓集成方式 |
|---|---|---|---|---|
| 泄漏檢測 精度 | 1E-07帕米3 /sec 或更高 | 1E-09Pa?m3 /sec 或更高 | 1E-06帕米3 /sec 或更高 | 1E-05帕米3 /sec 或更高 |
整體測量 | ○ | ○ | × | ○ |
泄漏位置識別 | × | × | ○ | × |
| 自動化 | ○ | ○ | △ | ○ |
| 初期 成本 | × | ○ | ○ | △ |
| 運行 成本 | × | △ | × | × |
| 維護成本 | × | × | △ | △ |
| 受影響的產品 | LDS3000 |  P3000（XL） 系列 | LDS3000AQ | |
測試方法詳細信息
真空法
真空噴涂法
這是一種通過對工件內部進行真空排氣，用噴槍從外部噴射氦氣時，檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
真空罩法
這是一種對工件內部進行真空抽真空并用罩蓋住，并在罩內對氦氣加壓以檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
加壓方式
嗅探器
這是一種在對工件內部進行真空抽吸后對氦氣加壓，然后用吸槍探頭將泄漏的氦氣吸出以檢測泄漏的方法。
真空鐘罩法
這是一種將工件放置在腔室中，對工件進行抽真空，然后對氦氣加壓，對腔室內部進行抽真空以將腔室內部排出以檢測氦氣泄漏到真空室中的方法。
加壓集成方式
這是一種將工件放入罩中，對工件進行抽真空，并對氦氣加壓，以將從泄漏點泄漏到罩內的氦氣積累一段時間，并檢測罩中積聚的氦氣（濃度）的方法。
轟炸方式
這是將工件放入罐中，抽真空一定時間，用氦氣加壓一定時間，然后將工件從罐中取出，將工件放入腔室中，對腔室進行抽真空，以檢測因泄漏而進入工件的氦氣。
泄漏測試設備 加壓積分法
加壓積分法電路配置
氦氣檢漏儀 LDS3000AQ 電路配置
氦氣檢測傳感器原理
180° 磁場脫毛質譜儀
進入LDS3000AQ的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴散現象到達分析管。
到達分析儀的分子被細絲的電子轉化為 + 離子，由于加速電壓，它們沿 - 方向移動。
+ 當離子通過磁場時，軌道根據氣體的質量進行劃分。
只有帶有 + 離子的氦氣到達離子收集器，并被前置放大器放大為電流進行測量。
泄漏檢測設備 真空鐘罩法
真空鐘罩式反應法電路配置
氦氣檢測器 LDS3000 電路配置
還有一個帶有內置閥的集成檢漏儀，可針對每個連接壓力自動切換每個端口。
氦氣檢測原理
180° 磁場脫毛質譜儀
進入LDS3000的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴散現象到達分析管。
到達分析儀的分子被細絲的電子轉化為 + 離子，由于加速電壓，它們沿 - 方向移動。
+ 當離子通過磁場時，軌道根據氣體的質量進行劃分。
只有帶有 + 離子的氦氣到達離子收集器，并被前置放大器放大為電流進行測量。
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