showcase油擴散泵 真空泵PFL/ULK/PST
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC設計的轉子軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
showcase油擴散泵 真空泵PFL/ULK/PST
showcase油擴散泵 真空泵PFL/ULK/PST
用途
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。真空泵用油SMR為了在寒冷時也能發揮好的起動性能粘度較低。
為了發揮出泵的性能，請盡量頻繁地對油進行更換。
結構緊湊，排氣量大。
氣體接觸區域不使用油的干式真空泵。
豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。
內置自動復位型熱保護器等安全設計。
大氣壓下可運作。
全壓力范圍可連續運作。
結構簡單，維護方便。
真空吸盤，真空鑷子。
自動設備上的吸附和轉移。
真空包裝印刷機。
貼片機。
如果在負載運作期間停止泵，然后立即重新啟動，則可能無法重新啟動。
在這種情況下，將泵內部恢復到大氣壓。
2 請不要吸入腐蝕性氣體，有機溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。
另外，請確保污垢和灰塵不會進入泵內部。
3 泵的滑動材料會在運行過程中磨損，產生磨損粉末。
此外，所使用的滑動材料對抗水性較弱，因此吸入水分則會加速磨損并縮短其壽命。
不要吸入水分和可冷凝氣體（水蒸汽等）。
4 僅供室內使用。
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。
5 將泵固定在設備等上時，請務必安裝防振橡膠。
防振橡膠的安裝螺釘尺寸為M5 x P0.8。
另外，安裝在泵側的防振橡膠螺釘的長度不應超過10毫米。
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