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高低溫真空探針臺的技術(shù)優(yōu)勢

閱讀:506        發(fā)布時間:2024-5-22
高低溫真空探針臺系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件因接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差,是材料學、芯片、半導(dǎo)體器件等方向?qū)嶒灧治龅睦硐脒x擇。
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體材料光電檢測,功率器件測試,MEMS測試,PCB測試,液晶面板測試,測量表面電阻率測試,精密儀器生產(chǎn)檢測,航空航天實驗室。譜量光電可以根據(jù)客戶實際應(yīng)用需求,定制配套探針臺系統(tǒng),以達到更好的測試效果及更高的性價比。
光學隔振平臺專門設(shè)計的水平減震機構(gòu),隔振基礎(chǔ)采用二層氣囊隔離,空氣隔離器利用空氣阻尼技術(shù)在各個方向上都提供了優(yōu)異的減振性能,減振器自身的自然振動頻率非常低,防止由瞬變干擾產(chǎn)生的搖擺。
技術(shù)優(yōu)勢:
控溫范圍可達-142℃-600℃(如300℃以上需另配水冷系統(tǒng));
控溫精度可達±1℃,顯示精度1℃,溫度均勻性±3℃;
極限真空度優(yōu)于2Pa@機械泵,極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組;
探針位移重復(fù)定位精度2μm,分辨率3μm,單軸直線度±2μm;
三同軸探針夾具,漏電精度100fA,陶瓷結(jié)構(gòu);
樣品臺多個尺寸可選,常規(guī)有4/6/8/12英寸。

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