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晶圓烘箱外觀結構：
★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆，工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理
★工作室內百級，采用進口 H14耐高溫高效過濾器，過濾率0.3μm粒子99.995％以上
★隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料，表面溫度＜45℃
★門框密封采用無氟硅橡膠密封條，耐高溫，抗老化
★隔板可調整高度及增減數量
晶圓烘箱風路系統：
★采用密封內循環風路，減少氮氣消耗
★采用倒U型風道結構設計，箱內兩側單向水平送風，風道倉內強壓送風
★特殊可調導風板設計，保障工作室內送風均勻
★大功率三相異步耐高溫長軸馬達，不銹鋼渦輪扇葉（出廠動平衡調整）結合不銹鋼蝸牛殼結構結合兩側不銹鋼沖孔風板，風力強勁，送風均勻，平穩，工作噪音<65dB
溫控系統：
★不銹鋼無塵加熱器，潔凈無塵
★PLC+7寸彩色觸摸屏，HMI人機交互系統，中文操作界面，全自動程序運行模式， PID智能演算，自動恒溫，超溫保護，傳感器斷線保護，斷電記憶功能，帶氧含量、溫度值，工作狀態（排氧、維持、加熱、電磁閥、及故障等）監控界面、程序設定界面、歷史曲線界面、歷史數據功能，可通過USB導出數據，搭配PC端溫度數據處理軟件
★采用導軌式智能AI溫度控制模塊，控溫精度0.1級，自動恒溫，智能PID演算，帶30段程序升溫，帶傳感器斷線警報，AT自整定，超溫控制，斷電記憶功能，控溫準，穩定性好
★高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器
安全系統：
★按鍵鎖
★超溫保護
★電流過載保護
★漏電保護
★接地保護
規格參數：
設備型號 Model | CTCO-180(A/B) | CTCO-270(A/B) | CTCO-480(A/B) |
控溫范圍 Operating Temp. Range | RT+10~350℃ | ||
溫度分辨率 Temperature resolution | 0.1℃ | ||
溫度波動度 Control stability | ±0.5℃ | ||
溫度均勻度 Temperature uniformity | ±1.5℃（ａｔ100℃ 恒溫空載狀態下） ±2.5℃（ａｔ200℃ 恒溫空載狀態下） ±3.5℃（ａｔ300℃ 恒溫空載狀態下） ±5.0℃（ａｔ350℃ 恒溫空載狀態下） | ||
潔凈度 Cleanliness | 百級 Class100/ 千級 class1000 | ||
高效過濾器 HEPA | H14耐高溫高效過濾器，過濾率0.3μm粒子99.995％以上 | ||
氧含量 Oxygen content | <20ppm | ||
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