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無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司
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當前位置:無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司>>元器件高低溫測試機>>Chiller>> LTS-202光阻回刻刻蝕雙通道chiller 深冷器冷水機

光阻回刻刻蝕雙通道chiller 深冷器冷水機

參   考   價: 156244

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號LTS-202

品       牌冠亞制冷

廠商性質生產商

所  在  地無錫市

更新時間:2025-01-16 14:25:49瀏覽次數:733次

聯系我時,請告知來自 化工儀器網
產地類別 國產 價格區間 10萬-50萬
冷卻方式 水冷式 儀器種類 一體式
應用領域 化工,生物產業,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件
【無錫冠亞】半導體控溫解決方案主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。光阻回刻刻蝕雙通道chiller 深冷器冷水機



無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司的半導體控溫解決方案

主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備,

?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。




【 冠亞制冷 】半導體行業主營控溫產品:

半導體專溫控設備

射流式?低溫沖擊測試機

半導體專用溫控設備chiller

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型號FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
溫度范圍5℃~40℃
控溫精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內循環液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI溫度需要控制10℃以上)
進出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
電源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
溫度擴展通過增加電加熱器,擴展-25℃~80℃





光阻回刻刻蝕雙通道chiller 深冷器冷水機

光阻回刻刻蝕雙通道chiller 深冷器冷水機


半導體專用溫控設備(Chiller)主要用于半導體制造過程中準確控制反應室的溫度。半導體專用溫控設備利用制冷循環和工藝冷卻水的熱交換原理通過對半導體工藝設備使用的循環液的溫度、流量和壓力進行控制,以實現半導體工藝制程的控溫需求,是集成電路制造過程中的關鍵設備。

  1、明確應用需求

  要明確冷水機在半導體設備中的應用需求。這包括但不限于設備的功率、冷卻能力、運行環境等。在了解這些需求的基礎上,才能選擇合適的冷水機型號。

  2、考慮制冷量

  頂層介質刻蝕雙通道chiller制冷量能夠保證設備在短時間內達到預設的溫度,并保持溫度穩定。因此,在選型時,應關注設備的冷卻效率及其與設備負荷的匹配程度。

  3、考慮設備尺寸和重量

  頂層介質刻蝕雙通道chiller尺寸和重量也是選型過程中需要考慮的因素。如果設備尺寸過大或重量過重,可能會給安裝、移動和維護帶來困難。因此,在選型時,應根據實際需求選擇合適尺寸和重量的設備。


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