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thermal熱流儀在芯片可靠性測試中的應用與優勢

時間:2025/3/24閱讀:398
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  thermal 熱流儀在芯片可靠性測試中有著一定的應用,能在多種測試場景發揮作用,同時具備多項優勢,以下是具體介紹:


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  一、芯片可靠性測試的核心挑戰

  隨著芯片制程進入3nm以下及封裝(如3D ICChiplet)技術的普及,芯片可靠性測試面臨更高要求:

  嚴苛溫度耐受性:芯片需在-55~150℃范圍內穩定工作,且需承受快速溫變帶來的熱應力。

  局部熱點風險:高密度封裝下,功率芯片(如CPUGPU)的局部溫度易引發電遷移或熱失效。

  測試效率與成本:傳統溫箱測試周期長,難以滿足快速迭代需求。

  二、Thermal熱流儀在芯片測試中的核心應用

  1. 溫度循環測試(Temperature Cycling

  測試目標:驗證芯片在嚴苛溫度交替下的機械穩定性(如焊點疲勞、分層缺陷)。

  技術方案:熱流儀以50/min速率循環切換-55~125℃,模擬芯片在汽車電子或工業環境下的壽命。

  2. 高溫老化測試(Burn-in

  測試目標:篩選早期失效芯片,提升量產良率。

  技術方案:熱流儀在125℃下對芯片施加額定電壓,,加速電遷移與氧化失效。

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  3. 熱阻測試(Thermal Resistance, Rth

  測試目標:量化芯片結溫(Tj)與環境溫度(Ta)的熱傳導效率。

  技術方案:熱流儀結合紅外熱像儀與熱電偶,實時監測結溫并計算。

  4. 熱沖擊測試(Thermal Shock

  測試目標:驗證芯片在溫變下的抗裂性(如陶瓷封裝、硅通孔TSV結構)。

  技術方案:熱流儀加熱實現-75℃→150℃切換,模擬芯片在航天器進出大氣層的嚴苛環境。

  三、Thermal熱流儀的五大技術優勢

  1. 有效性:縮短測試周期

  快速溫變:50/min速率使溫度循環測試時間壓縮。

  多通道并行:支持8~16個芯片同步測試(如Fan-Out封裝),效率提升。

  2. 準確性:數據可靠性保障

  控溫精度:±0.1℃精度(PID+模糊算法)避免溫度波動導致的誤判。

  微區監測:紅外熱像儀準確定位熱點,誤差1℃。

  3. 多功能性:復雜場景覆蓋

  復合環境模擬:集成振動臺、濕度控制,滿足標準中的多應力耦合測試。

  定制化編程:支持階梯升溫、駐留時間動態調整等復雜測試腳本。

Thermal熱流儀通過有效溫控、準確數據,成為芯片可靠性測試的核心工具,其優勢不僅體現在縮短研發周期與提升良率上,更在于推動芯片技術向更高密度、更復雜場景的突破。


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