ICP光譜儀冷卻循環水裝置組由三個相互關聯的系統組成：制冷劑循環系統、水循環系統、電器自控系統。
1、ICP光譜儀冷卻循環水裝置循環系統：
ICP光譜儀冷卻循環水裝置蒸發器中的液態制冷劑吸收水中的熱量并開始蒸發，液態制冷劑亦*蒸發變為氣態后被壓縮機吸入并壓縮，氣態制冷劑通過冷凝器吸收熱量，凝結成液體，通過熱力膨脹閥（或毛細管）節流后變成低溫低壓制冷劑進入蒸發器，完成制冷劑循環過程。
2、ICP光譜儀冷卻循環水裝置制冷系統基本組成 ：
壓縮機：壓縮機是制冷系統中的核心部件，作用是將輸入的電能轉化為機械能，壓縮制冷劑。
冷凝器：在制冷過程中冷凝器起著輸出熱能并使制冷劑得以冷凝的作用。
貯液器：貯液器安裝在冷凝器之后，與冷凝器的排液管是直接連通的。
干燥過濾器：在制冷循環中須預防水分和污物等進入。
熱力膨脹閥：熱力膨脹閥在制冷系統中既是流量的調節閥，又是節流閥，在制冷設備中安裝在干燥過濾器和蒸發器之間，它的感溫包是包扎在蒸發器的出口處。
蒸發器：蒸發器是依靠制冷劑液體的蒸發來吸收被冷卻介質熱量的換熱設備。
制冷劑：它的作用是攜帶熱量，并在狀態變化時實現吸熱和放熱。
3、ICP光譜儀冷卻循環水裝置水循環系統：
水循環系統是由水泵將水從水箱抽出到用戶需冷卻的設備，冷凍水將熱量帶走后溫度升高，再回到冷凍水箱中。
4、ICP光譜儀冷卻循環水裝置電器自控系統：
電器自控系統包括電源部分和自動控制部分。
電源部分是通過接觸器，對壓縮機、風扇、水泵等供應電源。
ICP光譜儀冷卻循環水裝置自動控制部分包括溫控器、壓力保護、延時器、繼電器、過載保護等相互組合達到根據水溫自動啟動和停止，保護等功能。
