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ACU20P系列 Torr級托爾壓力控制器EPC/壓力計
為直通式設(shè)計，測量范圍從100Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。
該基本數(shù)字PC具有測量和控制所需的所有基本功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。
我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥，高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥。
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制，高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。
Torr級托爾壓力控制器EPC/壓力計
產(chǎn)品參數(shù)：
技術(shù)參數(shù) | 精度(包括線性和滯后性) | ±0.5%F.S | |
壓力量程比 | 壓力計 | 1:50 | |
壓力控制器 | 1:20 | ||
重復(fù)性 | ≤0.1% | ||
傳感器響應(yīng)時間 | 0.2s | ||
控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2) | ||
運(yùn)行溫度 | -10~+70℃ | ||
溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||
方位影響度 | ＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器） | ||
＜0.6 KPa（差壓傳感器） | |||
預(yù)熱時間 | 忽略不計 | ||
機(jī)械部件 | 材質(zhì) | 不銹鋼 | |
工藝連接 | G3/8" | ||
密封材質(zhì) | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他 | ||
防護(hù)等級（外殼） | IP40 | ||
電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc | |
數(shù)字輸出 | RS485/RS232、profibus協(xié)議 | ||
電氣連接 | DB9 | ||
如所需參數(shù)與上述列舉不同，請另行溝通咨詢
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