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ROHS金屬成分分析儀(SXES:Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了高的能量分辨率。
和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。
ROHS金屬成分分析儀系統簡介：最新開發設計的分光系統，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態分析分佈圖
SXES、WDS、EDS的比較各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖
即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發生重疊，需要采取去卷積的數學方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。
比較表
| 特征 | SXES | EPMA(WDS) | EDS |
| 分辨率 | 0.3 eV (費米邊處 Al-L) | 8 eV (FWHM@Fe-K） | 120-130 eV (FWHM@Mn-K） |
| 化學結合狀態分析 | 可以 | 可以(主要是輕元素) | 不可以 |
| 并行檢測 | 可以 | 不可以 (但分光譜儀臺數范圍即可) | 可以 |
| 分光晶體和檢測器 | 衍射光柵＋CCD | 分光晶體＋正比計數管 | SDD |
| 檢測器冷卻 | 珀爾帖冷卻 | 不需要 | 珀爾帖冷卻 |
| 檢測限(以B作為參考值) | 20ppm | 100ppm | 5000ppm |
鋰離子二次電池（LIB）分析實例
能觀察到LIB的充電量
充滿電后Li-K樣品的譜圖
說明:由于理論上的原因，氧化鋰的檢測很困難
輕元素的測試實例
SXES測試碳素化合物的實例
可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。
各種氮素化合物的測試實例氮素也可以根據波形分析化學結合狀態。硝酸鹽和氮化物的波形不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的波形。
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