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國產質量流量控制器：采用高質量微機電（MEMS）流量傳感器芯片，結合數字處理技術和工業設計，所開發的智能化氣體質量流量檢測儀表。該產品具有精度高、量程比大、響應速度快、集成度高等優點，同時采用電磁兼容設計和防水、防塵功能。
國產質量流量控制器技術參數：
參數說明 | |
介質要求 | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質種類 | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 |
量 程 | 0-50/100/500/1000sccm，0-5/20/50/100SLM |
精 度 | 0.5% F.S. (0.3%可定制) |
分辨率 | 0.01 SCCM |
響應時間 | ≤50ms |
環境條件 | |
介質溫度 | -20~55℃ |
工作溫度 | 0~60℃ |
工作濕度 | 不結露條件下0~95%RH |
工作壓力 | 0~1MPa |
儲存溫度 | -40~85℃ |
電氣參數 | |
供電電壓 | DC8-24V，紋波 ≤50mV |
功 耗 | ＜1.2W（有屏幕） ＜0.3W（無屏幕） |
啟動時間 | <1s |
預熱時間 | 30S 偏差小于±0.5%F.S. 10min 精度 |
通信接口 模擬信號（電壓） | |
電流信號 | 4-20mA (線性對應量程) |
電壓信號 | 1-5V (線性對應量程) |
接口類型 | D-sub 9針 |
數字（RS485） | |
接口類型 | RJ45 |
通信速率 | 4800,9600（默認）,14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通過指令或者上位機修改） |
協 議 | RS485（默認Modbus-RTU，可定制私有協議） |
設備地址 | 1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改) |
節點數 | 250 |
機械參數 | |
接頭類型 | 卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其他可選 |
主體材質 | 底座：7075鋁合金（可選316不銹鋼），外殼：鋼板鍍鋅 |
密封材質 | FKM氟橡膠 |
防護等級 | IP54 |
重量 | 0.5kg |
在輸出方面，帶有工業級液晶顯示屏幕，用于顯示瞬時流量、累計流量等信息，并支持模擬和數字輸出方式。此系列產品的量程從50SCCM到 100SLM內可選，典型精度為0.5%（0.3%可定制），輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485、EtherCAT, CC-Link等數字通信方式。
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