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碳化硅微通道反應器：采用碳化硅材料制成的微型反應器，具有高效、安全、精確控制等優勢，適用于連續流化學反應。

設備內部結構主要由微米級（通常10～300μm）通道構成的微反應器。微反應器的“微"表示工藝流體的通道在微米級別。微反應器中可以包含有成百萬上千萬的微型通道，因此也實現很高的產量。

微通道連續流反應器是一種借助于特殊微加工技術以固體基質制造的可用于進行化學反應的三維結構元件。微反應器通常含有小的通道尺寸（當量直徑小于500 µm）和通道多樣性，流體在這些通道中流動，并要求在這些通道中發生所要求的反應。這樣就導致了在微構造的化學設備中具有非常大的表面積/體積比率。