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產品簡介
詳細介紹
DN系列探針臺產品優勢：
顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降，保證高質量光學成像質量。
卡盤同時具備快速和微調升降，便于樣品和探針快速分離，也可以用于探針卡的扎針。
可升級性強，最高可升級 220G 高頻，也可以集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態熒光壽命成像系統等。
DN系列探針臺詳細參數：
技術參數 產品型號 | DN-4 | DN-6 | DN-8 | DN-12 | |
探針臺本體 | 整機尺寸（mm） | 600L*600W*620H | 650L*650W*620H | 700L*700W*620H | 750L*750W*620H |
重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 120kg | |
自適應減震系統 | 具備自適應減震系統 ， 一定程度上可防止外界震動的干擾。 | ||||
卡盤大小 | 4" ,360度轉動, 可微調 | 6"，360 度轉動 ，可微調 | 8",360 度轉動，可微調 | 12",360 度轉動，可微調 | |
卡盤行程和精度 | 4"*4" ，精度 10um | 6"*6" ，精度 10um | 8"*8" ，精度 10um | 12"*12 ，精度 10um | |
卡盤升降功能 | Chuck可以上下快速升降 5mm 和微調升降 5mm ，精度 1 微米(使用探針卡的時候使用) | ||||
卡盤吸附方式 | 真空吸附 ， 可選擇環形吸附或者多孔吸附 （適用于薄片） | ||||
背電極測試功能 | 具備 ， 樣品臺電學獨立懸空 ， 帶 4mm 香蕉頭插口 | ||||
針座平臺 | 材質 | U 型平臺 ，鍍鎳 ，與探針座之間具備更強吸附力 | |||
大小 | 最多可放置4~6個探針座 | 最多可放置8~10個探針座 | |||
顯示系統 | 顯微鏡成像系統 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統 | |||
倍率范圍 | 16X~100X/60X~420X/20X~4000X | ||||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結構 ， XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | ||||
CCD 成像系統 | 200 萬/500萬像素 ，幀率 60fps，帶拍照/錄像/測量功能 | ||||
探針座 | 種類 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
機械精度 | 0.35um/0.7um/2um | ||||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等 | ||||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | |||
電力需求 | 220V/50HZ | ||||
我們是一家致力于提供半導體和自動化設備綜合解決方案的自主創新型技術企業。我們集研發、生產、銷售和服務于一體，不僅擁有*的生產設備、加工工藝及品質檢測體系，也擁有涉及材料、物理、化學、微電子、機械等專業的技術團隊。現在主營的產品有：4寸、6寸、8寸、12寸手動探針臺、高壓大功率探針臺、真空高低溫探針臺，半自動探針臺，全自動探針臺等，可以完成I-V/C-V測試，脈沖I-V測試，RF/mmW測試，高壓、大電流測試，MEMS、光電器件等測試。專業的設計人員也可以按客戶的要求量身定制，如搭配光電流掃描成像或拉曼-瞬態熒光壽命成像系統、太陽能發生器、多普勒測試儀、積分球等，在常規探針臺功能上進行延伸拓展來滿足不同客戶的測試需求。