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干式液氦溫區(qū)探針臺產(chǎn)品主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺、進口分子泵組、全量程真空規(guī)、智能溫控儀等組成。

• 干式液氦溫區(qū)探針臺產(chǎn)品特點

△ 真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）；

△ 探針控制：標配6個探針臂。調(diào)節(jié)范圍110mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

△ 顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：0.5X~3. 75X（使用0. 75X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調(diào)焦和光學調(diào)焦；

△ 變溫樣品臺：直徑標配50mm，可選配150mm。變溫范圍：6K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01 K;

△ 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；

△ 系統(tǒng)直流漏電低于1pA;

△ 產(chǎn)品含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。 

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