首頁 >> 供求商機
產品型號 | GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發鍍膜儀 |
主要特點 | 1、已通過CE認證。 2、采用石英腔體，易于清潔和樣品的放入。 3、樣品臺可旋轉，能夠使所制薄膜達到更好的均勻性。 4、采用鎢絲作為發熱源，zui高溫度可達到1700℃，并配有的氧化鋁舟裝載樣品（僅1600ºC以下使用，若蒸 發溫度大于1600ºC，樣品應直接放在鎢絲籃中）。 5、熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制。 6、可將設備轉換到手動調節狀態，內部不安裝熱電偶，直接采用手動調節輸出電流大小，發熱源溫度可達 2000ºC，可達到對樣品鍍碳等實驗要求。 7、可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應氣體，進行反應蒸發鍍膜。 8、進氣口配有針閥，用于調節進氣流量。 |
技術參數 | 1、電壓：AC 208V-220V 50Hz/60Hz 單相 2、zui大功率：500W，zui大電流為30A 3、真空腔體：石英腔體，直徑Φ6" 4、樣品臺：直徑Φ50mm；可旋轉，轉速5rpm；與蒸發源間距可調，調節范圍60mm-100mm 5、zui高溫度：1700ºC 6、熱電偶：S型熱偶，工作溫度200ºC-1500ºC（可選用B型熱偶，工作溫度1200ºC-~1700ºC） 7、控溫精度：±1ºC，數顯溫度控制器，可設置30段升降溫程序 8、鎢絲籃：2個 9、真空接口：KF40 10、真空計：數顯防腐真空計PCG554，測量范圍3.8×10-5-1125torr 11、進氣接口：1/4NPS |
產品規格 | 尺寸：440mm×330mm×630mm |
可選配件 | 1、機械泵（帶油污過濾器）（真空度<10-2torr，可以蒸發貴金屬，如Au、Ag） 2、分子泵（可獲得高真空，真空度<10-5torr，蒸發易氧化材料，如Al、Mg、Li等） 3、低真空系統 4、高真空系統 5、等離子清洗機（鍍膜前對基片進行清洗，可獲得更好的薄膜強度） |
20
