壓電效應
某些材料在機械應力作用下，引起內(nèi)部正負電荷中心相對位移而發(fā)生極化，導致材料兩端表面出現(xiàn)符號相反的束縛電荷的現(xiàn)象，稱為壓電效應。反之，當這類材料在外電場作用下，其內(nèi)部正負電荷中心移位，又可導致材料發(fā)生機械變形，形變的大小與電場強度成正比。具有這種性能的陶瓷稱為壓電陶瓷，它的表面電荷的密度與所受的機械應力成正比。
壓電陶瓷
作為壓電陶瓷的原材料，在晶體結(jié)構(gòu)上一定是不具有對稱中心的晶體，如氧化鉛、氧化鋯、氧化鈦、碳酸鋇、氧化鈮、氧化鎂、氧化鋅等。常用的壓電陶瓷有鈦酸鋇、鈦酸鉛、鋯鈦酸鉛以及三元系壓電陶瓷。其結(jié)構(gòu)類型有鈣鈦礦型、鎢青銅型、焦綠石型、含鉍層結(jié)構(gòu)等。
壓電陶瓷制作的一般工藝流程：
壓電陶瓷是新型功能電子材料，隨著材料及工藝的不斷研究和改良，在傳感器、換能器、無損檢測和通訊技術等領域已獲得了廣泛的應用。要實現(xiàn)壓電陶瓷的優(yōu)異性能，就必須加工具有一定形狀精度和尺寸精度的元件。因此，研究壓電陶瓷的加工技術，特別是精密、超精密加工技術具有重大的應用價值及現(xiàn)實意義。
壓電陶瓷材料雖然具有其他材料*的*性能，但是它也有顯著地缺點——脆性。在外力作用下不發(fā)生顯著變形即告破壞，使其很難象普通材料一樣 進行機械加工，且加工成本較一般材料高。所以，在對壓電陶瓷切割時，需要根據(jù)樣品的外觀尺寸、切割尺寸及精度要求選擇適當?shù)那懈顧C。
配數(shù)顯千分尺的STX-202小型金剛石線切割機
切割
粘樣。使用加熱平臺、石蠟、石墨將樣品固定在載物板上。對于圓柱狀樣品以側(cè)面粘接時，要在兩側(cè)加石墨夾立粘貼，以確保切割時樣品的穩(wěn)固。
裝卡對刀。無論使用線鋸式或是鋸片式切割機，都需要調(diào)整切割刀口的位置。且大部分切割機都可實現(xiàn)切割面良好的垂直度對刀。例如STX-202小型金剛石線切割機可通過360°旋轉(zhuǎn)平臺及二次裝卡的方法，對樣品進行高度平行和垂直調(diào)整。
調(diào)整參數(shù)。根據(jù)樣品的相關參數(shù)，設置切割機的運行參數(shù)，以求獲得*切割。
研磨拋光
對于需要粘樣的薄片，注意表面的平整度，并將薄片邊緣多余的石蠟清理干凈，以避免與磨料發(fā)生交叉污染，影響磨拋效果。同時，為了去除研磨盤上可能附有其他粒度的磨料及雜物，每用一種磨料都先要進行修盤，但更建議每一種粒度的磨料對應一盤，以確保*的磨拋效果。磨料選擇剛玉即可，按W28、W14、W7的順序進行逐步研磨。
磨拋料 | 剛玉 | 剛玉 | 剛玉 | 金剛石懸浮液 |
粒度 （μm） | W28 | W14 | W7 | 3 |
壓力 （ kg） | 1.69 | 1.69 | 1.69 | 1.69 |
轉(zhuǎn)數(shù) （ rpm） | 30 | 30 | 30 | 110 |
時間 （ min） | 20 | 20 | 20 | 30 |
對于壓電陶瓷的拋光多選用聚氨酯拋光墊、合成革拋光墊，配用3μm金剛石懸浮液。注意拋光墊粘貼時要均勻地攤開，以便消除粘合面的氣泡，保證拋光面的平整度。并且在正式拋光使用前，需用清水清洗后進行修墊，避免拋光墊的棱角過于尖銳，損傷拋光面。此外，要想獲得更小的表面粗糙度，可在完成拋光后，更換新的拋光墊，使用1.5μm的金剛石懸浮液繼續(xù)拋光。
此工藝流程不僅適用于壓電陶瓷的切磨拋，通過改變相應的參數(shù)設置，可以用于其他陶瓷的切割、研磨、拋光。
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