高重復性的配氣
對溫度和壓力漂移，環境適應性好
對前端壓力波動不敏感
寬量程精度保持能力
（例如20%~100%或10%~100%量程范圍內達到±1%S.P.）
要求對低濃度的NH3/SO2/CO等氣體有較好的抗污染能力
動態校準儀簡化原理框圖
提高動態校準儀連續穩定的輸出濃度，易度提供了MCF100系列層流壓差式質量流量控制器作為標準配氣元件，選用閥門后置型產品，可監測前端氣體壓力，并選取了幾種不同的量程，典型氣體流量為100SCCM和10SLPM的質量流量控制器，精度為±1.0% S.P.。
內置的比例調節閥和流量傳感器具有高分辨率和穩定性
內置的絕壓和溫度傳感器，具有-20~50℃，0~1MPa的寬環境適應性
層流壓差式流量控制器具有極快的反饋控制速度，對前端壓力不敏感
層流壓差式流量控制器具有寬量程精度保持能力的原理性優勢
層流壓差式原理，高性能壓力、壓差傳感器和比例閥門是長期可靠性的基石
自研的壓力和壓差傳感器對低濃度腐蝕性氣體不敏感，有較好的抗污染能力
易度流量控制器采用層流壓差式原理，在氣體流量控制的精度和重復性上有明顯的優勢，100:1的量程比（可定制更高量程比），在小流量段也能實現毫秒級快速控制。比例調節閥在設計中充分考慮密封性和內漏問題，將客戶的關鍵關注點解決，幫助客戶將動態配氣儀提升到更高品質和更優性能。
MCF100系列氣體質量流量控制器
流量范圍：0.1SCCM~5000SLPM
通訊方式：RS485(Modbus RTU）（其他可選）
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