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更換氣瓶時如何保護MFC?

閱讀:1137      發(fā)布時間:2024-7-24
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      通常氣瓶的氣體需要通過減壓閥調節(jié)到一個比較低的壓力才會連接到MFC。當氣瓶壓力過低時,就需要更換氣瓶。但是有的客戶在換上新的氣瓶后發(fā)現(xiàn)MFC已經損壞了,這是為什么呢? 

圖1:氣源經過減壓閥到MFC


      首先我們需要了解一下減壓閥的工作原理。

圖2:減壓閥原理示意圖

      手動調壓閥是通過調節(jié)彈簧壓緊量,使閥口打開,氣體經過閥口流向后端,當出口壓力逐漸上升到調定壓力時,向上頂起膜片的氣體壓力逐漸增大,直到彈簧力和出口氣體壓力達到平衡。

      如果此時把氣瓶拆掉,入口沒有高壓氣體了,彈簧力會使減壓閥的閥口開到一個比較大的開度。接上新的氣瓶并打開氣瓶開關后,高壓氣體突然進入減壓閥,由于壓力在氣體中傳播非常快,減壓閥的閥口又開得比較大,高壓氣體會瞬間直接經過減壓閥,傳遞到后端。減壓閥膜片感應到出口氣體壓力上升,逐漸將閥口關小直至關閉。但是剛才的瞬間高壓足以到達MFC內部,導致MFC的傳感器損壞。

      因此正確的更換氣瓶的做法是將減壓閥關閉,再更換氣瓶。或者在減壓閥后接截止閥,更換氣瓶時關閉截止閥,就可以有效保護MFC及整個系統(tǒng)了。


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