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INHA-氣體質(zhì)量流量控制器-模擬經(jīng)濟(jì)型
基于多年的經(jīng)驗(yàn)，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們在學(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
| 氣體質(zhì)量流量控制器 MF-100C | ||||
| ?三維尺寸圖 | ||||
| riTfmn | ||||
| Mass Flow Controller | ||||
| and Meter | ||||
| MF 100Series | ||||
| ?特征 | ||||
| -響應(yīng)速里快 | ||||
| -準(zhǔn)確度咼 | ||||
| -穩(wěn)定的流量控制 | ||||
| -寬壓力范圍 | ||||
| -優(yōu)良的耐腐蝕性 | ||||
| -出色的線性度 | ||||
| QI | ||||
| —( | ||||
| t | ||||
| — | ||||
| 60 | ||||
| • Sccm,Slm表示標(biāo)準(zhǔn)氣體流量(20°C 101.3Kpa) | ||||
| ?戸品規(guī)格 | ||||
| 型號 | MF-100C | |||
| 流量規(guī)格（N2 ） | 10SCCM-30SLM | |||
| 控制量程 | 2%~100%of FullScale | |||
| 準(zhǔn)確度 | <±1.0% of Full Scale (20,30SLM : <±1.5 Full Scale ) | |||
| 線性精度 | <±0.5% of Full Scale | |||
| 重復(fù)精度 | <±0.2% of Full Scale | |||
| 響應(yīng)時間 | <2sec | |||
| 正常工作溫度范圍 | 0~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) | |||
| 正常工作壓力范圍 | 0~50 Bar(g) | |||
| 漏率 | 1x10-9 atm. cc/sec He | |||
| 電源 | + 15Vdc or 24Vdc/300mA | |||
| 信號類型 | 0-5V or4-20mA | |||
| 密封類型 | Viton/Buna/Kalrez/Teflon/Epdm | |||
| 控制類型 | Normally Closed Solenoid | |||
| 連接器類型 | D-Sub 9 Pin Connector Male | |||
| 氣路接口類型 | 1/4,1/8" , 3/8"LOK 1/4VCR | |||
| 接口類型 | Analog Type | |||
| 材質(zhì) | SUS 316L | |||
| 預(yù)熱時間 | 15 min(Accuracy Guaranteed : 30 min) | |||
| ?電氣連接 | ||||
| 單位：mm | ||||
| "X"尺寸規(guī)格 | ||||
| 接口規(guī)格 | mm | |||
| 1/8HLok | 116.7 | |||
| 1/4HLok | 121.3 | |||
| 3/8"Lok | ||||
| 124.4 | ||||
| 1/4"VCR | ||||
| 117.8 | ||||
| Mass Flow Controller | ||||
| and Meter | ||||
| MF 1OOSer ies | ||||
| FLOW | ||||
| 氣體質(zhì)量流量控制器 MF-100C（電壓型） | 氣體質(zhì)量流量控制器 MF-100C（電流型） | |||
| D型9針連接器 | （公） | |||
| 電氣連接方式 | 電壓型 | 電流型 | ||
| 編號 | 功能 | MF-100C | MF-100C | |
| 1 | 信號公共端 | • | • | |
| 2 | 0~5Vdc信號輸出 | • | X | |
| 3 | 閥控 | options | options | |
| 4 | 4~20mA信號輸出 | X | • | |
| 5 | 電源 | • | • | |
| 6 | 地 | options | options | |
| 7 | 4~20mA信號輸入 | X | • | |
| 8 | 0~5Vdc信號輸入 | • | X | |
| 9 | ||||
| 電源公共端 | ||||
| INHA® | ||||
| INHA® | ||||
| MASS FLOW Meter | ||||
| MASS FLOW Meter | ||||
| I | ||||
| z | ||||
| Mass Flow Controller | ||||
| and Meter | ||||
| MF WOSeries | ||||
您好！歡迎來到仁荷微電子
基于多年的經(jīng)驗(yàn)，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們在學(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
我們還專門從事MFC的研究和生產(chǎn)，并進(jìn)口代理和銷售用MFC。此外，我們配備了校準(zhǔn)器，可以通過提供MFC專業(yè)維修和組裝來解決技術(shù)問題和交貨時間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神，提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和快捷，細(xì)致，可靠的服務(wù)，精誠合作，共同進(jìn)步！