全自動離子濺射儀簡單易用的交互設計：
1. 模塊化操作界面
分步提示：
屏幕顯示當前步驟（如“正在抽真空”“開始濺射”），并實時更新進度條。
異常狀態自動彈窗報警（如真空度不足、靶材耗盡），并提供解決方案提示。
參數互鎖保護：
限制參數輸入范圍（如電流不超過靶材最大承受值），避免誤操作導致設備損壞。
2. 免維護設計
靶材更換便捷：
采用卡扣式或磁吸式靶材座，無需工具即可更換靶材。
靶材尺寸標準化，兼容常用規格。
清潔維護簡化：
濺射腔室采用耐腐蝕材料，定期用清水或酒精擦拭即可。
可選配自動清潔模式。
3. 安全與合規性
多重防護機制：
門禁保護：艙門未關閉時無法啟動濺射，防止紫外線暴露。
過流保護：電流超過設定值時自動切斷電源，保護靶材和樣品。
符合標準：
通過CE認證，電氣安全性和EMC電磁兼容性符合國際要求。
全自動離子濺射儀使用注意事項：
1.靶材與樣品距離：
根據濺射速率需求調整靶材與樣品臺的距離，距離越近鍍膜速率越高。
2.氣體選擇：
惰性氣體用于金屬濺射，反應性氣體可用于氧化物鍍膜。
3.冷卻系統：
長時間連續工作時需檢查散熱系統，避免靶材過熱變形。
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