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激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的，由高脈沖能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。
● 低殘留
● 高EUV能量（3.5 MJ）
● 低耗氣量（氣體脈沖持續時間：<1 ms）
● 簡單目標氣體交換
● 桌面系統
● 計量：反射測量、吸收
● 光譜學（nexafs）
● 光學/傳感器測試
● EUV損壞調查
● 材料相互作用基礎研究
● 水窗顯微鏡（λ=2..4納米）
| 參數 | 單位 | 指標 |
| 產品編號 | EUV-B-XRAY | |
| 工作波長 | nm | 20nm |
| 脈寬 | ns | 7 |
| 脈沖能量（Xe） | mJ | 3.5(4π sr, 2% BW) |
| 轉換效率 | % | 0.45 |
| 等離子形狀 | NA | Ø ~ 300 µm |
| 重復頻率 | HZ | 10 |
測試數據展示：
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