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URE-2000/35 光刻機
一、URE-2000/35 光刻機 產(chǎn)品特征：
URE-2000/35采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準(zhǔn)間隙和消除 曝光間隙，采用 350W 進(jìn)口(德國)直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制，性能非常可靠，自動化程 度很高，操作十分方便。非常適合工廠(效率高，操作傻瓜型，自動化程度高)和高校教學(xué)科研 (可靠性好，演示方便)。
二、URE-2000/35 光刻機 技術(shù)參數(shù)：
（1）曝光面積：4英寸
（2）曝光波長：365nm
（3）分辨力：0.8μm
（4）對準(zhǔn)精度：±0. 8μm
（5）掩模樣片整體運動范圍：X：15mm; Y：15mm
（6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；
（7）樣片尺寸：直徑φ10mm-- φ100mm(各種不規(guī)則片)；
（8）樣片厚度：0.1mm--5mm(可擴展為15mm)；
（9）曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量；
（10）具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；
（11）照明不均勻性： 3%（φ100mm 范圍）
（12）雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最大倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍
物鏡三對：4倍、10倍、20倍
目鏡三對：10倍、16倍、20倍
（13）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)；
（14）數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙；
（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口；
（16）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ：±6o
（17）最大膠厚：400μm（SU8膠，用戶提供檢測條件）
（18）光源平行性：3.5 o
（19）曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 o
（20） 單層曝光一鍵完成；
（21）采用球氣浮自動找平；
（22）汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口汞燈）；
（23）外形尺寸：1200mm（長）×900mm(寬)×1750mm（高）；
