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美國可脈（QMAXIS）推薦之多晶硅制備方案
閱讀：515 發布時間：2023-2-22
想要觀察多晶硅樣品金相制備后的微觀形貌，首先我們選擇低聚集金剛石顆粒的20LC金剛石切割片，將樣品用精密金相切割機切割成小塊，并鑲嵌成圓形標準試樣后，再進行制備。鑲嵌推薦使用美國可脈（QMAXIS）9個小時固化的EpoFlow環氧樹脂，可以獲得較佳的保邊效果，即固化后樹脂與樣品之間的結合性也較佳。
多晶硅樣品的顯微磨削制備我們推薦采用美國可脈（QMAXIS）研發的四步法，用戶可根據實際情況自行減少或增加步驟，以達到同樣的效果。此外，美國可脈（QMAXIS）還有另外一種使用金剛石磨盤制備的方案，即采用P320或P400金相砂紙，然后用9µm、3µm、0.5µm金剛石磨盤進行研磨，結尾用0.02µm氧化硅拋光液再進行拋光。我們通過使用美國可脈（QMAXIS）的設備和耗材，采用相應的參數為用戶提供更加有效的制備方法。具體的制備步驟、耗材選擇以及制備參數等如下表所示。
多晶硅樣品制備方案（一）
· 即將完成后的20 秒用水沖洗樣品及金相拋光布即可
多晶硅樣品制備方案（二）
· 即將完成后的20 秒用水沖洗樣品及金相拋光布即可
多晶硅類似于玻璃，硬而脆，金剛石拋光液標樂安全技術小編建議可以選擇使用多晶。多晶的磨削速度快，對于硬一點的材料來說，效率會更高一些。順便說一下，單晶硅比多晶硅制備容易一些，制備單晶硅，力值可以稍微低一些。
所以，您在制備多晶硅樣品時會采取哪些步驟及參數呢？歡迎與標樂安全技術工程師分享、討論。