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行業(yè)產(chǎn)品

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[供應(yīng)]DS-2000/14G型光刻機(jī)
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  • DS-2000/14G型光刻機(jī)
貨物所在地:
安徽合肥市
更新時(shí)間:
2024-12-11 21:00:28
有效期:
2024年12月11日 -- 2025年6月11日
已獲點(diǎn)擊:
128
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

DS-2000/14G型光刻機(jī)該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的極紫外光作為光源,用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板,采用積木 錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱:DS-2000/14G型光刻機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo):
單次曝光面積:1.4mm×1mm
大曝光基片:100mm ×100mm
對(duì)準(zhǔn)精度:±0.8μm(半自動(dòng)對(duì)準(zhǔn))
大膠厚:300μm(SU8膠)
自動(dòng)逐場(chǎng)對(duì)焦;
分辨力:1μm;
X、Y、Z、θ四自由度電動(dòng)位移臺(tái)
X、Y平移重復(fù)定位精度:0.65μm(3σ)
Z向運(yùn)動(dòng)精度:1μm
DS-2000/14G型光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn):
該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的極紫外光作為光源,用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板,采用積木 錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明,并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(可同時(shí)使用),拼接獲得大面積圖形,曝光設(shè)定采用微機(jī)控制,菜單界面友好,操作簡(jiǎn)便。

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