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Sensofar CSI （白光干涉） 是如何運作的?

Sensofar 干涉

為了測量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度，通過干涉技術，可在任何放大倍率下實現相同的系統噪聲，它可實現優于 0.01 nm 的系統噪聲。

CSI （白光干涉）使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均達到 1 nm 的高度分辨率。

采用干涉法，3D 測量能以高精度進行。可沿 Z 軸掃描，在整個樣本上獲得條紋，用獲取的不同像素的高度重新構建 3D 圖像。