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該變溫電阻設備有以下特點:
1、變溫范圍廣，常溫到高溫1000℃全覆蓋，且變溫過程中升降溫速率可控;
2、測試精度高范圍廣，電阻測量范圍0.01uΩ到1200MΩ，廣泛應用于各種金屬半導體材料，和相變材料研究;
3、測試數據量大且完整，變溫過程中持續采集，電阻率數據每秒采集兩次。
4、設備體積小，操作簡單，維護方便。
5、測量結果穩定，數據平滑，重復性高。
產品簡介
詳細介紹
圖1-1 RMS-600系統組成
RMS_1000變溫電阻率測試系統采用PID溫控表控制特制的加熱棒加熱，變溫過程中對樣品進行電阻率的連續采集，從而繪制處樣品在變溫過程中的電阻率聯系變化曲線。
序號 | 項目 | 技術指標 |
測試參數 | ||
1 | 測試物理量 | 變溫過程中電阻率連續采集 |
2 | 樣品要求 | L≥10mm；W≥3mm；T≥50nm （適用與塊狀、片狀和帶基底的薄膜樣品） |
3 | 電阻率測試誤差 | ≤10% |
4 | 重復測試誤差 | ≤3% |
5 | 電阻測量范圍 |
|
控溫參數 | ||
6 | 溫度范圍 | RT-1000℃ |
7 | 溫度顯示精度 | 0.1℃ |
8 | 控溫精度 | ±0.2℃ |
9 | 加熱方式 | 特制加熱棒加熱 |
10 | 制冷方式 | 自然降溫 |
11 | 升溫速率 | （1-40）K/min程序控制（500℃） |
12 | 降溫速率 | （1-30）K/min程序控制（300℃） |
13 | 最大加熱功率 | 200W |
整機參數 | ||
14 | 采集控制箱尺寸 | 366mm（W）*360mm（D）*160mm（H） |
15 | 測試裝置尺寸 | 180m*140mm*60mm（高） |
16 | 額定電壓 | 220V/50HZ |
17 | 整機功率 | 300w |
其它參數 | ||
18 | 外殼冷卻方式 | 水循環冷卻 |
19 | 外殼最高溫度 | 40℃ |
20 | 測試氣氛 | 真空 |
21 | 真空度 | ≤1Pa |
22 | 真空容積 | 1L |
表 1.1 RMS-1000技術參數