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分享TS120冷熱臺的維護(hù)保養(yǎng)方法
閱讀：455 發(fā)布時間：2022-9-26
冷熱臺主要使用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精細(xì)電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)工夫和器件制造工藝成本。TS120冷熱臺能方便、準(zhǔn)確、快速地找到放置在安裝臺上的樣品上所需要測試點(diǎn)，比如三極管的基區(qū)、發(fā)射區(qū)等，將探針和測試點(diǎn)可靠接觸，將配套測試儀器上設(shè)置的測試條件通過探針加到被測試管芯上，實(shí)現(xiàn)對管芯參數(shù)測試的目的。
在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)和研制過程中，需要對芯片樣品的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行過程測試和終端測試，完成測試所需的測試對準(zhǔn)。所采用的自動定位方法不僅節(jié)省了人力成本，提高了定位精度，又大大地提升了其工作效率。
x-y向工作臺是TS120冷熱臺中核心的部分，該產(chǎn)品的故障很多是維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對該產(chǎn)品的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。
平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。
而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報廢。
由于平面電機(jī)的定子及動子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。
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