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烤膠機與真空干燥箱相比有哪些優(yōu)點？
閱讀：1033 發(fā)布時間：2021-5-19
烤膠機是針對半導體工藝生產中晶圓烘烤而設計的一款產品，烤膠機可在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位，進行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗用。與傳統(tǒng)的真空干燥箱相比，利用烤膠機固化膜層的優(yōu)勢有：
（1）烘烤時間減少；
（2）重復性高；
（3）對薄膜的固化效果好。
烤膠機整個面板溫度均勻，對基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上，所以不會“皮膚效應”。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層，因為最靠近基片的膜層會首先固化好，然后是膜層靠外的部分。該設備由于升溫迅速，所以產量較高。烘烤時間用秒計算，而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時計算。
TC-V300烤膠機外觀小巧精致，采用高精度微處理器，溫度控制更加準確，升溫速率可控，可編輯多段溫度曲，線烘烤時間短、重復性高和薄膜固化效果好。