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上海協(xié)爍儀器科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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薄膜的膜厚測(cè)定

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測(cè)定物質(zhì)的膜厚有各式各樣方法,而用紫外,可見(jiàn)分光光度計(jì),可進(jìn)行簡(jiǎn)單的無(wú)損測(cè)定。本文探討了用紫外、可見(jiàn)分光光度計(jì)可測(cè)定多少厚度的膜厚。
用分光光度計(jì)測(cè)定,膜的表面和里面的反射光互相干擾,得到波動(dòng)的干涉光譜。厚度可計(jì)算在一定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光譜上的波數(shù)而求出(但需有膜物質(zhì)的折射率)。
膜越薄,光譜上的波數(shù)越減少,越厚越增加。這次測(cè)定了薄膜和厚膜的界限。

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