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日本新宇宙XPS-7Ⅱ半導體材料氣體檢測儀可用于在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測 只需要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體（氨氣NH3，四氧化硅SIH4，二氯二氫硅SIH2Cl2，砷化氫ASH3，磷化氫PH3，B2H6，硒化氫H2SE,氫化鍺GEH4, 氯氣CL2,CLF3,氯化氫HCl，氟化氫HF，溴化氫HBr，一氧化氮NO,硫化氫H2S等） 根據氣體種類不同，滿量程也會略有不同。
產品特點
● 只需要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體
● 用盒式傳感器單元無需進行氣體檢測器校正
● 可以大幅度削減成本和維護時間
產品用途
● 半導體工廠/石油化學工廠等
● 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
日本新宇宙XPS-7Ⅱ半導體材料氣體檢測儀技術參數
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