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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

當前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>白光干涉儀>> SuperViewW1白光干涉晶圓3D形貌測量儀

白光干涉晶圓3D形貌測量儀

參  考  價: 960000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號:SuperViewW1

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

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更新時間:2025-04-29 11:06:39瀏覽次數(shù):174次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合
SuperViewW白光干涉晶圓3D形貌測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW白光干涉晶圓3D形貌測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

白光干涉晶圓3D形貌測量儀

產(chǎn)品特點

1、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭,適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

2、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲。

3、聲波隔振防護

儀器外殼與內(nèi)部運動機構(gòu)采用了分離式設(shè)計,有效隔離了聲波振動的傳導(dǎo)。

4、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕,調(diào)整條紋寬度,提高3D圖像的重建精度。

5、便攜式操縱桿

采用人體工程學(xué)設(shè)計,集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動控制,并配有緊急停止按鈕。

6、真空吸附臺

專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺,確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像。

7、3D重建算法

自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,測量精度可達亞納米級別。


自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

白光干涉晶圓3D形貌測量儀

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺,集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊,能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機型,可自主識別機型種類,二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗,重構(gòu)了顯微影像測量功能,可針對微觀平面輪廓尺寸的點、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進行直接測量和自動匹配測量。


自動化mark點識別坐標定位自動化功能

白光干涉晶圓3D形貌測量儀

Mark點影像識別自動坐標位置校正,多區(qū)域坐標點自動定位測量與分析,可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量。


自動拼接功能

白光干涉晶圓3D形貌測量儀

支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,配合影像導(dǎo)航功能,可自定義測量區(qū)域,支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量。


SuperViewW白光干涉晶圓3D形貌測量儀具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。如針對芯片封裝測試流程的測量需求,SuperViewW1的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計,隔離地面震動與噪聲干擾。


晶圓應(yīng)用案例

硅晶圓的粗糙度檢測

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,硅晶圓的制備質(zhì)量直接關(guān)系著晶圓IC芯片的制造質(zhì)量,而硅晶圓的制備,要經(jīng)過十數(shù)道工序,才能將一根硅棒制成一片片光滑如鏡面的拋光硅晶圓,如下圖所示,提取表面一區(qū)域進行掃描成像。

白光干涉晶圓3D形貌測量儀

如圖,制備好的拋光硅晶圓表面輪廓起伏已在數(shù)納米以內(nèi),其表面粗糙度在0.5nm左右,由于其粗糙度精度已到亞納米量級,而在此量級上,接觸式輪廓儀和一般的非接觸式儀器均無法滿足檢測要求,只有結(jié)合了光學(xué)干涉原理和精密掃描模塊的光學(xué)3D表面輪廓儀才適用。


晶圓IC的輪廓檢測

晶圓IC的制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV蝕刻到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸小,任何微小的粘附異物和瑕疵均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺陷,因此必須對光罩和晶圓IC的表面輪廓進行檢測。如圖是一塊蝕刻后的晶圓IC,使用光學(xué)3D表面輪廓儀對其中一個微結(jié)構(gòu)掃描還原3D圖像,并測量其輪廓尺寸。


晶圓IC減薄后的粗糙度檢測

在硅晶圓的蝕刻完成后,根據(jù)不同的應(yīng)用需求,需要對制備好的晶圓IC的背面進行不同程度的減薄處理,在這個過程中,需要對減薄后的晶圓IC背面的表面粗糙度進行監(jiān)控以滿足后續(xù)的應(yīng)用要求。在減薄工序中,晶圓IC的背面要經(jīng)過粗磨和細磨兩道磨削工序,下圖是粗磨后的晶圓IC背面,選取其中區(qū)域進行成像分析。

白光干涉晶圓3D形貌測量儀

如圖,粗磨后的表面存在明顯的磨削紋路,而3D圖像顯示在左下部分存在一處凹坑瑕疵,沿垂直紋理方向提取剖面輪廓并經(jīng)過該瑕疵,在剖面輪廓曲線里可看到該處瑕疵zui大起伏在2.4um左右,而磨削紋理起伏zui大在1um范圍內(nèi)波動,并獲取該區(qū)域的面粗糙度Sa為216nm,剖面線的粗糙度Ra為241nm。

而在經(jīng)過細磨后,晶圓IC背面的磨削紋理已基本看不出,選取表面區(qū)域進行成像分析。

如圖可知,在經(jīng)過細磨之后,晶圓IC背面的磨削紋理輪廓起伏已經(jīng)降到36nm附近,其表面粗糙度也已經(jīng)從200多nm直降到6nm左右。


部分技術(shù)指標

型號W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學(xué)ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺

標配:3孔手動

選配:5孔電動


XY位移平臺

尺寸320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
Z向掃描范圍10 ㎜
主機尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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